Neue GSD-Quelle von Plansee: Rundum-Erneuerung mit Rundum-Vorteilen.

Der sogenannte Halogenzyklus lässt Wolframkomponenten in der Ionenquelle schnell erodieren und führt in kühlen Bereichen der Quelle zu starken Wolframablagerungen. Die Folge sind oft Kurzschlüsse bis hin zum Ausfall der Quelle. Ein wichtiger Treiber des Halogenzyklus sind Temperaturunterschiede.

Eine gleichmäßige Temperaturverteilung war deshalb ein wichtiges Ziel des Re-Designs. Im neuen Quellen-Design setzt Plansee an einigen Stellen spezielle Metalllegierungen ein, um die Temperaturverteilung so stabil wie möglich zu halten. Ein Beispiel: Wird Wolfram in den kühleren Bereichen der Quelle durch Wolfram-Lanthan ersetzt (WL), reduziert das den Holgenzyklus merklich. Neben den Temperatureigenschaften von WL ist ein weiterer Vorteil des Werkstoffs seine Beständigkeit gegen Plasmaabtrag.

Neben dem Halogenzyklus sind auch Materialabscheidungen rund um die Kammer ein großes Problem. Sie entstehen, wenn Komponentenpartikel aus der Kammer entweichen und sich auf Isolatorteilen absetzen. Um Materialabscheidungen an kritischen Stellen in der Ionenquellen-Kammer zu reduzieren, hat Plansee das Design der Kathode verändert. Es reduziert nicht nur Materialabscheidungen, sondern auch den Gasverlust aus der Kammer – ein enormer Kostenvorteil für Anlagenbetreiber.

Auch vor dem Repeller hat Plansee nicht Halt gemacht. Aus vielen Teilen hat Plansee eine einfache 4-Teile-Konstruktion gemacht, die sich leicht austauschen und einbauen lässt. Das neue Design ist nicht nur einfacher in der Handhabung. Es macht die Gaswege länger. Ein zusätzlicher Baustein, um Gasverluste weiter zu reduzieren.

Ein weiteres Beispiel für leichteren Einbau ist ein selbstjustierendes System, das den Abstand zwischen Kathode und Wendel ganz von selbst optimal einstellt.

Die neue GSD von Plansee ist sehr flexibel. Plansee hat verschiedene Kathodendicken und Repellerdicken im Programm und die Quelle ist als Non-Vaporizer oder Vaporizer-Version, für Hochstrom- und Niedrigstrom-Betrieb erhältlich. Sie kann in bestehenden Anlagen einfach eingesetzt werden und ist mit den Standard-Halterungen in der GSD kompatibel.