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#Produkttrends
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NEU: hochauflösendes Kameramodul durch Technologie 4D
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Das FlexCam ist ein Vertrag, hohes Metrologiemodul der Entschließung 3D für in-situ rollen-zu-rollen Maß der Substrate, der Sperrenfilme und der Zwischenschichten. FlexCam Module liefern Vor-nanometer vertikale Entschließung und Mikrometer-stufen seitliche Entschließung für Inprozeß Rauheit und Defektquantifikation ein.
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Oberflächenrauheit und Defekte beeinflussen die Langlebigkeit der Bestandteile, die auf Substraten niedergelegt werden. FlexCam ermöglicht Realzeitüberwachung und Kontrolle von Rauheit weniger als Effektivwert 0.5nm, einschließlich und Exklusives von Defekten auf dem Film. Das System liefert genaues Maß trotz des Durchbruchs, der Netztonhöhenschwankung und anderer Effekte, die die relative Position des Substrates in Bezug auf das Maßsystem sich unterscheiden können. Kein anderes System kann seine Leistung zusammenbringen.
FlexCam auch identifizierent und bestimmt die Defekte quantitativ und registriert ihre Position innerhalb der Rolle. Mehrfache Defektstatistiken werden einschließlich Bereich, Volumen, Tiefe und Steigung, mit benutzerselektierten Durchlauf-/Ausfallenkriterien berechnet, während metrische jede schädliche Wirkungen auf Sperren- oder Endenvorrichtungsleistung haben kann. Äußere gegen tatsächliche Defekte kann abgesondert werden, um zu helfen, ihre Grundursache zu lokalisieren. Wo hell-auffangen Sie, sind Kontrollsysteme für die Rückseite des Filmes sowie die Rollenoberfläche empfindlich, 4D's FlexCam ist immun gegen solche Effekte und messen nur die Oberfläche.