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Advanced Energy kündigt hochpräzise, mehrkanalige Messplattform mit ultraweitem Temperaturbereich an

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Fünfkanalige Luxtron® FluorOptic® Thermometry (FOT)-Plattform mit branchenführender Genauigkeit für die Messung extrem niedriger und hoher Temperaturen

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DENVER, Colo., Aug. 2023 - Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS) - ein weltweit führender Anbieter von hochentwickelten, präzisen Energieumwandlungs-, Mess- und Steuerungslösungen - hat seine Luxtron® FluorOptic® Thermometry (FOT)-Familie um eine hochintegrierte Wandlerplattform erweitert, die hochpräzise Messungen von extrem niedrigen bis extrem hohen Temperaturen ermöglicht.

Das neue Luxtron M-1100 eignet sich ideal für plasmagestützte Halbleiterabscheidungs- und Ätzprozesse und arbeitet von -200°C, dem Beginn des kryogenen Bereichs, bis zu Hot Chuck"-Temperaturen von 450°C mit einer branchenführenden Genauigkeit von +/- 0,1°C und einer Stabilität von +/- 0,05°C. Die Integration von fünf Kanälen ermöglicht die Überwachung mehrerer Fühler über einen einzigen Konverter, während flexible Kommunikationsausgänge die digitale Überwachung, Aktualisierung und Systemintegration vereinfachen.

"Eine genaue Überwachung über erweiterte Temperaturbereiche hinweg ist für Halbleiterhersteller von entscheidender Bedeutung, um die komplexen Ätz- und Ablagerungsanforderungen der nächsten Generation von Fertigungsprozessen zu erfüllen", so Dhaval Dhayatkar, Vice President und General Manager für kritische Mess- und Steuerungsprodukte bei Advanced Energy. "Das Luxtron M-1100 baut unsere Führungsposition in der hochpräzisen, phosphorbasierten faseroptischen Thermometrie weiter aus und erfüllt die Anforderungen unserer Kunden, den Messaufwand zu minimieren und die Integration in Überwachungs- und Kontrollsysteme zu ermöglichen."

Luxtron FOT-Messsysteme nutzen faseroptische Sonden mit Phosphorsensortechnologie und kombinieren Hochleistungskonverter mit einer fortschrittlichen Lichtquelle, einem proprietären Softwarealgorithmus für Photodetektoren und rauscharmen Verstärkerschaltungen. Der Luxtron M-1100 ist das erste Modell, das sowohl analoge als auch EtherCAT-Kommunikationsschnittstellen bietet.

Der neue Konverter vereinfacht die Implementierung, da er an der Seite des zu überwachenden Systems an der Wand montiert werden kann. Die Benutzerfreundlichkeit wird durch die Unterstützung der globalen Engineering-Teams von Advanced Energy weiter verbessert, die mit OEMs zusammenarbeiten, um kundenspezifische Sonden für modernste Anwendungen zu entwickeln.