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Mess- und Inspektionsanlagen: stabile Spülströme und Kammerdrücke
Stabile Spülströme und Kammerdrücke verhindern, dass sich die Basislinie der Messung verschiebt.
In Mess- und Inspektionsanlagen verschiebt eine kleine Drift in einer Optikspülung, einem Trägergasstrom oder einem Kammerdruck die Basislinie der Messung, und Mitteln beseitigt sie nicht. Ein laminarer Differenzdruck-Massendurchflussregler macht aus einer festen Drossel eine gemessene, selbstmeldende Stelle: Er liefert Massen- und Volumendurchfluss, Absolutdruck und Temperatur aus einem Gerät, ist in unter einer Sekunde bereit und regelt von 0,01 bis 100 % des Endwerts. Für geschlossene Kammern hält ein Druckregler mit zwei Ventilen den Druck präzise, auch im Vakuum. Regler mit geringem Druckverlust eignen sich für Spülungen mit wenig Vordruck, tragbare Messer prüfen Durchflüsse vor Ort.
