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Prüfstände für Gaspanels: eine Referenzleiter, die 1 % vom Messwert hält
Eine Leiter aus laminaren Differenzdruck-Durchflussmessern deckt einige SCCM bis Tausende SLPM in einer Familie ab.
Bevor ein Gaspanel oder ein Massendurchflussregler an eine Beschichtungs- oder Ätzanlage geht, wird jeder Kanal gegen eine Referenz geprüft und die Baugruppe auf Dichtheit getestet. Integratoren verlangen meist mindestens 1 % vom Messwert über den ganzen Bereich, und eine einzige Referenz kann rund fünf Dekaden nicht abdecken. Eine Leiter aus laminaren Differenzdruck-Durchflussmessern, jeder nur dort eingesetzt, wo er die 1 % hält, deckt in einer Familie einige SCCM bis Tausende SLPM ab, mit ±0,5 % vom Messwert oder ±0,1 % vom Endwert und einer Wiederholbarkeit von ±(0,1 % vom Messwert + 0,02 % vom Endwert). Ein Messer mit kleinem Bereich erfasst Leckagen von einigen zehn SCCM, ein Druckmessgerät mit ±0,125 % vom Endwert liest den Druckabfalltest. Muss der Prüfstand einen Durchfluss vorgeben, passt ein Regler in dieselbe Bauform und Schnittstelle.
