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Dünnschichtabscheidung: das Reaktivgas Leitung für Leitung regeln
Die Regelung jeder Leitung vor der Kammer zeigt und stoppt die Drift, die ein Kammermanometer nicht sieht.
Bei der reaktiven Abscheidung misst ein Kammermanometer nur den Gesamtdruck und zeigt daher nicht, dass eine Reaktivgasleitung mit kleinem Durchfluss gedriftet ist, und die Schichtzusammensetzung verschiebt sich unbemerkt. Die Regelung jeder Leitung vor der Kammer löst das: Laminare Differenzdruck-Massendurchflussregler führen die Arbeitsgasleitung mit Argon oder Helium und die Reaktivgasleitung mit Sauerstoff, Stickstoff oder Kohlenwasserstoff, mit einer Wiederholbarkeit von ±(0,1 % vom Messwert + 0,02 % vom Endwert), einer Regelantwort ab 30 ms und einem Regelbereich von 10.000:1. Jeder meldet Massen- und Volumendurchfluss, Absolutdruck und Temperatur, und 98 bis 130 Gaskalibrierungen sind vor Ort wählbar. Bei höheren Prozessdrücken hält ein Druckregler zwischen Kammer und Pumpe den Gegendruck bis in den unteren Torr-Bereich.
