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Die neuen PFLOW3000-Durchflusssensoren: Kompakte MEMS-basierte Massendurchflusssensoren
Die neue Serie von Angst+Pfister Sensors and Power ist kompakt und daher gut geeignet für die direkte Integration in ein Produkt
- z.B. in Medizintechnik-Geräte. Intern ist der Sensor auf einem MEMS-Chip aufgebaut, der nach dem kalorimetrischen Prinzip funktioniert. Neben dem Durchfluss kann auch die Durchflussrichtung erkannt werden. Der Sensor wird standardmässig mit Luft kalibriert. Auf Wunsch kann auch mit anderen Gasen oder bei anderen Umgebungsbedingungen kalibriert werden. Messbereiche sind von 0…2 SLPM bis 0…50 SLPM bei einer Genauigkeit von 1,5 % FS erhältlich. Die PFLOW3000-Serie ist sowohl mit linearem Analog-Ausgangssignal als auch mit digitalem Ausgangssignal erhältlich. Ein weiteres Highlight ist die sehr gute Vibrationsbeständigkeit nach MIL-STD-883. Damit eignet sich der Sensor auch für Militär- und Raumfahrt-Anwendungen.
Weitere kundenspezifische Varianten und Optionen sind auf Anfrage erhältlich.
