leuchtende Präzision: Das faseroptische Laserlineal der Serie PLR3000 stellt sich vor

Die Laserinterferometrie zeichnet sich durch hohe Empfindlichkeit, einen großen Messbereich und Robustheit in rauen Umgebungen aus. Die Lichtwellen definieren direkt das Messgerät und sind leicht rückverfolgbar. Das von Chotest unabhängig entwickelte faseroptische Laserlineal der Serie PLR3000 basiert auf der Laserinterferometrie.

Die Laserinterferometrie zeichnet sich durch hohe Empfindlichkeit, einen großen Messbereich und Robustheit in rauen Umgebungen aus. Die Lichtwellen definieren direkt das Messgerät und sind leicht rückverfolgbar. Das von Chotest unabhängig entwickelte faseroptische Laserlineal der Serie PLR3000, das auf Laserinterferometrie basiert, ist ein hochmodernes Gerät zur Positionsbestimmung, das für seine hohe Präzision, Empfindlichkeit und Geschwindigkeit bekannt ist. Bei der berührungslosen Präzisionsmessung bietet es unvergleichliche Vorteile gegenüber herkömmlichen Stahlbandmaßen oder Glasgittern und zeichnet sich durch eine genauere Teilung und höhere Auflösung aus. Das thermisch isolierte Design sorgt für hervorragende Stabilität, während die schnelle Installation und die einfache Ausrichtung das Gerät benutzerfreundlich machen. Die PLR3000-Serie findet breite Anwendung in der modernen Ultrapräzisionsfertigung, z. B. in der Mikroelektronik, Mikromechanik und Mikrooptik, sowie in der Lithografie und der Luft- und Raumfahrt.

Bestandteile eines faseroptischen Laserlineals

Ein faseroptisches Lasermessgerät besteht in der Regel aus einer Laserquelle, einer interferometrischen Messsonde und einem Retroreflektor. Die Laserquelle sendet einen kohärenten Lichtstrahl aus, der vom Interferometer geteilt und rekombiniert wird, um ein Interferenzmuster zu erzeugen. Der Retroreflektor reflektiert das Licht zurück zum Interferometer und ermöglicht so eine präzise Verschiebungsmessung.

1.Laser-Emissionsgerät:

Die Laseremissionsvorrichtung verfügt über eine eingebaute Helium-Neon-Laserquelle mit außergewöhnlicher Frequenzstabilität, die eine Genauigkeit von 0,05ppm (oder 0,02ppm) erreicht. Der Laserstrahl wird über eine gepanzerte Faser zur interferometrischen Messsonde geleitet, wodurch eine thermische Isolierung gewährleistet ist. Das Gerät enthält eine hochentwickelte Signalverarbeitungseinheit, die digitale RS422-Quadratursignale und analoge Quadratursignale in Echtzeit mit anpassbarer Auflösung liefert. Darüber hinaus ist ein USB-Softwareentwicklungskit (SDK) für die Sekundärentwicklung erhältlich.

2.Interferometer-Sonde:

2.1 Differential-Interferometer (DI)-Sonde Unsere DI-Sonde bietet eine unübertroffene Präzision durch den Einsatz einer differentiellen Interferometrietechnik. Die Sonde teilt einen Laserstrahl in zwei Pfade auf, von denen einer an einem festen Spiegel und der andere an einer beweglichen Oberfläche reflektiert wird. Diese Konfiguration vervierfacht die Empfindlichkeit, ermöglicht eine Auflösung im Nanometerbereich und minimiert nichtlineare Fehler. Sie eignet sich perfekt für Anwendungen, die eine präzise Messung der relativen Bewegung erfordern, insbesondere bei thermischen Schwankungen und Vibrationen.

2.2 Plane Mirror Interferometer (PI) Probe Unsere PI-Probe bietet eine überragende Leistung für die Steuerung und Messung der XY-Tischbewegung. Das einzigartige Zweistrahl-Interferometerdesign und die Planspiegelkonfiguration des Tasters bieten eine unübertroffene Auflösung und Genauigkeit. Dank der Zwei-Achsen-Option und des einstellbaren Ausgangswinkels lässt er sich hervorragend an verschiedene Anwendungen anpassen.

2.3 Retroreflektor-Interferometer (RI) Tastkopf Unser RI-Tastkopf bietet eine vielseitige und genaue Lösung für lineare Messanwendungen. Mit seiner einfachen Installation und einem Messbereich von bis zu 40 Metern ist er ideal für die Positionierung und Kalibrierung von Geräten. Das Retroreflektordesign der Sonde gewährleistet hohe Zuverlässigkeit und Genauigkeit.

Hauptmerkmale der faseroptischen Laserlineale

Faseroptische Laserlineale bieten ein hohes Maß an Präzision und Vielseitigkeit für lineare Messanwendungen. Hier sind einige ihrer wichtigsten technischen Merkmale:

Hohe Messgenauigkeit: Die lineare Messgenauigkeit kann bis zu 0,5 ppm erreichen.

Hohe Laserfrequenzstabilität: Die Laserfrequenzstabilität beträgt bis zu 0,05ppm (0,02ppm ist optional).

Hohe Auflösung: Die ursprüngliche Auflösung beträgt bis zu 10 nm und kann durch weitere Unterteilung auf noch höhere Auflösungen konfiguriert werden.

Hochgeschwindigkeitsmessung: Die maximale Messgeschwindigkeit kann 2000 mm/s überschreiten.

Großer Messbereich: Der Messbereich kann 4 m oder mehr erreichen, mit anpassbaren Optionen bis zu 40 m.

Einfache Installation und Ausrichtung: Kompakte Größe, flexible Installation und erhebliche Reduzierung des Abbe-Fehlers. Die Interferometersonde ist mit einer Winkeleinstellvorrichtung für eine einfache Strahlausrichtung ausgestattet.

Thermische Isolierung des optischen Messpfads: Das Laseremissionsgerät und die Messsonde sind voneinander getrennt, wodurch die Auswirkungen der Wärmeabgabe des Hosts auf den Messpfad vermieden werden.

Mehrkanaliger Ausgang: Bis zu drei Messköpfe können gleichzeitig angeschlossen werden, was die gleichzeitige Messung mehrerer Achsen und mehrerer Freiheitsgrade ermöglicht.

Vielfältige Ausgangsschnittstellen: Die Host-Ausgangsschnittstelle umfasst USB- und Positionsausgangsschnittstellen. Zu den Positionsausgangsschnittstellen gehören differenzielle TTL (RS-422/EIA-422), Sinus- und Cosinussignale (SinCos1Vpp) und USB-SDK.

Anwendungsüberprüfung des faseroptischen Laserlineals der Serie PLR3000

Die faseroptischen Laserlineale der Serie PLR3000 wurden in zahlreichen Kundenanwendungen auf ihre Präzision geprüft. Durch den Einsatz eines Differentialinterferometertasters (DI) zur Regelung eines hochpräzisen Nanometer-Positioniertisches wurde an jedem Punkt innerhalb eines Verfahrbereichs von 10 mm eine Positionsgenauigkeit im Nanometerbereich erreicht.