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#Produkttrends
Kubischer Laser-Partikelzähler für die Überwachung der Luftreinheit in Halbleiter-Reinräumen
Wie kann die Feinstaubbelastung im Halbleiterreinraum abgewehrt werden?
Laut einer kürzlich von Semiconductor Equipment Manufacturers International (SEMI) herausgegebenen World Fab Forecast sind mehr als 50 % der Ertragsverluste bei Halbleitern auf Mikrokontamination zurückzuführen. Um Ertragseinbußen zu minimieren, ist es für Halbleiterfabriken unerlässlich, rigorose Strategien zur Kontaminationskontrolle in den Reinräumen einzuführen.
Feinstaub ist eine der Hauptquellen für Mikroverunreinigungen in Halbleiterfertigungsprozessen, die kontinuierlich überwacht und umgehend entfernt werden müssen.
Um Halbleiterfabriken bei der kontinuierlichen Überwachung von Feinstaub in den Reinräumen zu unterstützen, hat Cubic eine Lösung, den optischen Online-Partikelzähler OPC-6510DS, entwickelt, der für die Überwachung der Reinraumluft in Halbleiterfabriken eingesetzt werden kann.
Der optische Partikelzähler OPC-6510DS von Cubic wurde auf der Grundlage der Laser-Streuungstechnologie entwickelt und kann Partikel verschiedener Größen in einem Luftvolumen genau erfassen. Mit einem eingebauten einzigartigen Laser-Partikelzähler-Modul, einem Lüfter mit gleichmäßiger Drehzahl und einem gut durchdachten Ultraschall-Durchflusssensor bietet der OPC-6510DS eine stabile und hohe Durchflussrate von 28,3 l/min, wodurch er die Anforderungen der ISO 14644-1 erfüllt. Der Cubic OPC-6510DS kann gleichzeitig die Partikelanzahl von 5 Kanälen von >0.3μm, >0.5μm, >1.0μm, >5.0μm, >10μm in Stück/28.3L oder Stück/m³ ausgeben und unterstützt den 24/7 Betrieb, um eine stabile und kontinuierliche Partikelüberwachung zu gewährleisten.
Zusätzlich zu den wichtigsten Leistungs- und Funktionsmerkmalen wurde für den OPC-6510DS ein Touchscreen entwickelt, der die kontinuierlichen Überwachungsdaten und Reinraumpegel in Echtzeit anzeigt. Die akustische und visuelle Alarmfunktion ist ebenfalls als rechtzeitige Warnung vor Ort gedacht.
Darüber hinaus kann der Cubic OPC-6510DS die Online-Übertragung von Überwachungsdaten auf der Basis von RS485 ModBus und MOTT-Kommunikation realisieren, die in das Filtersystem integriert werden kann, um die Partikelverschmutzung in der Reinraumumgebung innerhalb eines bestimmten niedrigen Konzentrationsbereichs zu halten.
