Kubischer optischer Partikelzähler aus der Luft für die Flachbildschirmindustrie

Optischer Partikelzähler von Cubic hilft, die Ausbeute bei der Herstellung von Display-Panels zu verbessern

In den letzten Jahren ist der globale Markt für Flachbildschirme insgesamt gewachsen, da die Nachfrage nach nachgelagerter Unterhaltungselektronik wie Fernsehern, Computern und Mobiltelefonen, aber auch nach kommerziellen Displays, Displays für die Automobilindustrie, medizinischen Displays und anderen spezialisierten Displayprodukten gestiegen ist.

Um den zunehmenden Marketingbedarf an Flachbildschirmen zu decken, steigt der Bedarf an einer qualitativ hochwertigen LCD- und OLED-Produktion entsprechend, was wiederum eine Verbesserung der Produktausbeute bei der Herstellung von LCD- und OLED-Panels erfordert, um den Endmarkt mit ausreichenden Produkten zu versorgen und die Produktgewinne und die Wettbewerbsfähigkeit auf dem Flachbildschirmmarkt zu erhalten.

Faktoren, die die Qualität von LCD und OLED beeinflussen

In der Regel wird die Qualität von LCD und OLED vor allem durch die Verschmutzung durch Partikel und elektrostatische Schäden beeinflusst, die sich am stärksten auf die Ausbeute der LCD- und OLED-Prozesse auswirken.

Die Ablagerung von Partikeln ist ein Schlüsselfaktor, der LCD und OLED beeinflusst. Mit der zunehmenden Miniaturisierung und Verfeinerung der Bauelemente wurden die Größe der grafischen Elemente und die Dicke der Oberflächenbeschichtung von integrierten Schaltkreisen mit hoher Dichte auf den Mikrometerbereich reduziert, was die Anfälligkeit für den Einfluss von Partikeln erhöht. Die Ablagerung von Partikeln auf der Substratoberfläche kann leicht zu Punkt- oder sogar Linienfehlern im Substrat führen, was die Ausbeute der Produkte verringert.

Neben der Ablagerung von Partikeln ist auch die Verschmutzung durch die Adsorption statischer Elektrizität zu beachten. Statische Elektrizität entsteht, weil die elektronischen Energieniveaus der einzelnen Materialien unterschiedlich sind und es zu einem Ladungstransfer kommt, wenn zwei unterschiedliche Materialien miteinander in Kontakt kommen. Aufgrund der negativen Auswirkungen der statischen Elektrizität ist es schwieriger, eine hohe Produktqualität und einen hohen Produktertrag aufrechtzuerhalten. Zu den üblichen elektrostatischen Schäden bei der Herstellung von Flachbildschirmen gehören vor allem ESA-Verschmutzung (elektrostatische Adsorption), ESD-Verschmutzung (elektrostatische Entladung) und Geräteausfälle durch elektromagnetische Wellen. Bei der ESA-Verschmutzung entsteht durch die Bewegung des Produkts ein elektrostatisches Feld auf der Oberfläche des Produkts. Das elektrostatische Feld zieht nahe gelegene Partikel an die Oberfläche, und die Saugkraft ist groß, so dass sie ohne mechanische Kraft nur sehr schwer zu entfernen ist. Die elektrostatische Adsorption von Partikeln erhöht die Verschmutzung auf der Chipoberfläche und verringert so die Ausbeute.

Um die Ausbeute bei der Herstellung von Flachbildschirmen zu verbessern und gleichzeitig die elektrostatischen Schäden zu kontrollieren, ist es daher unerlässlich, auf die Überwachung der Partikel zu achten, um die Sauberkeit der Produktionsumgebung zu gewährleisten. Durch die Überwachung der Partikel in der Umgebung in Echtzeit kann rechtzeitig festgestellt werden, ob die Partikel den vorgegebenen Schwellenwert überschreiten, und es können gezielte Maßnahmen zur Vorbeugung und Kontrolle ergriffen werden, um die in der Luft befindlichen Partikel, die auf die Oberfläche der Chips und der Ausrüstung fallen, zu reduzieren, um die durch die Partikel und die elektrostatische Adsorption (ESA) verursachten Produktschäden weiter zu verringern und die Ausbeute zu verbessern.

Kubischer optischer Luftpartikelzähler für die Flachbildschirmindustrie

Als führender Hersteller von Gassensoren und Gasanalysatoren hat Cubic seine ausgereifte Lichtstreutechnologie genutzt und den optischen Online-Partikelzähler entwickelt, um die Anzahl der Schwebeteilchen verschiedener Partikelgrößen in der Luft pro Volumeneinheit im Reinraum in Echtzeit zu überwachen. Die optischen Online-Partikelzähler der Serie OPC-6303/OPC-6510/OPC-6511 von Cubic arbeiten mit einem leistungsstarken, industrietauglichen Linear-Laser, der eine hohe Partikel-Identifikationsrate und eine hohe Zählleistung gewährleistet.

Darüber hinaus unterstützt der optische Partikelzähler von Cubic die Anpassung an Kundenwünsche und kann mit bis zu 12 Kanälen ausgestattet werden, die typischerweise 0,3μm, 0,5μm, 1,0μm, 2,5μm, 5μm und 10μm umfassen. Mit einem kombinierten akustischen und visuellen Alarm kann der Echtzeit-Luftqualitätsstatus von kontrollierten Umgebungen visuell und akustisch reflektiert werden, und die Alarmschwelle kann auch über einen Touchscreen entsprechend den verschiedenen Anforderungen eingestellt werden. Basierend auf der kontinuierlichen und stabilen Probenahme Design, Partikelzähler können Online-Überwachung mit guter Stabilität und lange Lebensdauer zu realisieren.

Um den unterschiedlichen Anforderungen an kontrollierte Umgebungen gerecht zu werden, wurden die Cubic OPC-Geräte in Übereinstimmung mit einer Reihe von Anforderungen entwickelt, darunter ISO21501-4, ISO14644-1:2015, RoHS usw., so dass die Cubic OPC-Serie in Reinraumumgebungen der Klasse 100, Klasse 1000, Klasse 10.000 und Klasse 100.000 eingesetzt werden kann.

Wenn Sie mehr über die Anwendung von Cubic OPC in der Flachbildschirmindustrie erfahren möchten, besuchen Sie bitte https://www.cubic-controls.com/ oder kontaktieren Sie uns unter sales@gassensor.com.cn