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Fortschrittliche Gassensorlösungen von Cubic ermöglichen eine präzise Umgebungssteuerung in der Flachbildschirmfertigung

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Gewährleistung der Umgebungsstabilität mit dem kubischen Hochleistungs-Partikelzähler und dem HLK-Regler von Cubic

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Steigende Anforderungen an die Kontaminationsüberwachung in der Flachbildschirmfertigung

Flachbildschirme sind zu unverzichtbaren Komponenten moderner elektronischer Systeme geworden und kommen in Smartphones, Laptops, Fernsehern, Fahrzeugdisplays und anderen hochentwickelten Elektronikgeräten zum Einsatz. Da sich Displayprodukte in Richtung höherer Auflösungen, größerer Abmessungen und dünnerer Bauformen entwickeln, werden die zugrunde liegenden Technologien und Fertigungsprozesse immer komplexer. Selbst mikroskopisch kleine Partikelverunreinigungen können die Produktqualität und die Produktionsausbeute direkt beeinträchtigen, was höhere Anforderungen an die Kontaminationskontrolle in der Präzisionsfertigung stellt. Die Anforderungen hinsichtlich der Kontaminationsempfindlichkeit wirken sich direkt auf jede Phase des Produktionsprozesses aus, von der Dünnschichtabscheidung und Photolithografie bis hin zum Ätzen und zur Zellmontage.

Die Herstellung von Flachbildschirmen umfasst eine Reihe hochkomplexer Prozesse, darunter Dünnschichtabscheidung, Fotolithografie, Ätzen und Zellmontage. Diese Prozesse finden im Mikrometer- und Submikrometerbereich statt, wo selbst minimale Störungen aus der Umgebung erhebliche Auswirkungen haben können. Insbesondere Partikel in der Luft stellen eine der kritischsten Kontaminationsquellen dar. Submikrometer-Partikel können die Musterübertragung während der Fotolithografie stören, Defekte in Dünnschichtstrukturen verursachen oder sich während der Montage zwischen den Schichten festsetzen, was letztendlich zu Produktfehlern führt. Daher ist eine wirksame Kontrolle der Partikel in der Luft unerlässlich, um die Zuverlässigkeit und Stabilität des Fertigungsprozesses zu gewährleisten.

In der Praxis erfolgt die Flachbildschirmfertigung in der Regel in streng kontrollierten Umgebungen, darunter Reinräume, die darauf ausgelegt sind, die Kontamination durch Partikel in der Luft zu minimieren. Darüber hinaus wurden internationale Normen festgelegt, um die Fertigungsumgebung zu definieren und zu regulieren, wobei die Normenreihe ISO 14644 als globaler Maßstab dient. So definiert beispielsweise die Norm ISO 14644-1 Luftreinheitsklassen auf der Grundlage der Partikelkonzentration, während die Norm ISO 14644-2 die Prüfanforderungen festlegt, die zum Nachweis und zur Aufrechterhaltung der Konformität erforderlich sind. Die Normen betonen die Bedeutung einer kontinuierlichen Überwachung und Kontrolle der Umgebungsbedingungen durch einen definierten Rahmen.

Cubic Advanced Monitoring Solutions für die Flachbildschirmfertigung

Als Reaktion auf die Nachfrage der Industrie hat Cubic, ein führender Hersteller von Gassensoren und -analysatoren, einen optischen Online-Partikelzähler auf Basis einer Lichtstreuungs-Technologieplattform entwickelt. Der optische Partikelzähler nutzt einen leistungsstarken Laser in Industriequalität sowie photoelektrische Umwandlungstechnologie zur präzisen Echtzeitmessung von Partikeln in der Luft über einen breiten Messbereich hinweg. Darüber hinaus verfügt der optische Partikelzähler über einen 5-Kanal-Ausgang bei 0,3 μm, 0,5 μm, 1,0 μm, 5,0 μm und 10 μm, was detaillierte Einblicke in die Partikelgrößenverteilung über mehrere Größenschwellen hinweg ermöglicht. Diese Fähigkeit ist unerlässlich für das Verständnis von Kontaminationsquellen und die Bewertung der Reinraumleistung gemäß den Normen der ISO 14644 und unterstützt gleichzeitig die kontinuierliche Überwachung in kritischen Produktionsbereichen. Neben den Kernfunktionen verfügt der optische Online-Partikelzähler über einen 3,5-Zoll-Touchscreen mit mehrsprachiger Anzeige und unterstützt sowohl das RS485- als auch das MQTT-Protokoll für eine flexible Integration.

Abgesehen von den Partikeln reagieren die physikalischen und chemischen Eigenschaften organischer OLED-Materialien äußerst empfindlich auf Temperatur- und Feuchtigkeitsschwankungen. So können Temperaturschwankungen die Verdampfungsrate organischer Materialien beeinflussen, was zu Abweichungen in der Schichtdicke und -gleichmäßigkeit führt, während übermäßige Feuchtigkeit Elektrodkorrosion und eine verminderte Lichtausbeute verursachen kann. Daher wird in der Flachbildschirmfertigung die Temperatur in der Regel auf 23 ± 1 °C geregelt und die relative Luftfeuchtigkeit bei 40 % ± 5 % r. F. gehalten. Als Lösung bietet Cubic eine HLK-Steuerung auf Basis von NDIR-, Lichtstreuungs- und MEMS-MOX-Technologie zur Echtzeitüberwachung von CO₂, PM, VOC, Temperatur und Luftfeuchtigkeit an. Die HLK-Steuerung ermöglicht eine genaue und zuverlässige drahtlose Überwachung, was die Installation flexibel gestaltet und den Bedarf an Kalibrierungen vor Ort reduziert. Über einen integrierten Touchscreen können Anwender Daten einfach einsehen und Einstellungen anpassen.

Da sich die Flachbildschirm-Fertigungsindustrie ständig weiterentwickelt, bleibt der Bedarf an präzisen und umfassenden Überwachungslösungen unverändert groß. Mit einer soliden Grundlage in der Entwicklung von Kernsensoren und kundenorientierter Innovation liefert Cubic industrielle Sensorlösungen, bei denen Messgenauigkeit, Langzeitstabilität und die Einhaltung internationaler Standards im Vordergrund stehen und die kontrollierte Umgebungsbedingungen in den Anlagen während des gesamten Fertigungsprozesses gewährleisten.

Für weitere Informationen besuchen Sie bitte https://en.gassensor.com.cn/LaserParticleCounter/list.html oder kontaktieren Sie uns unter [email protected]