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Cubic Cleanroom Monitoring Gas Sensing Lösung

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Cubic Sensing-Lösung für die Halbleiter-, Batteriezellen-, Pharmazeutik- und Flachbildschirmherstellung Reinraumüberwachung

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Die Überwachung von Reinräumen ist ein wichtiger Aspekt in Branchen, in denen die Einhaltung strenger Umweltbedingungen von entscheidender Bedeutung ist, z. B. in der Halbleiterindustrie, der Batteriezellenindustrie, der pharmazeutischen Industrie und der Flachbildschirmindustrie.

Um die Sicherheit und Wirksamkeit von Produkten zu gewährleisten, die in Reinraumumgebungen hergestellt werden, haben Organisationen wie die International Organization for Standardization (ISO) und Aufsichtsbehörden wie die Food and Drug Administration (FDA) in den USA und die European Medicines Agency (EMA) in Europa eine Reihe von Standards festgelegt, die eine kontinuierliche Überwachung verschiedener Parameter wie Luftqualität, Partikelgehalt, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Druck beinhalten, um ein Reinraumdesign zu gewährleisten, das den strengen Reinheitsstandards entspricht. Die ISO-Norm 14644 beispielsweise legt die Klassifizierung der Luftreinheit in Reinräumen auf der Grundlage der Partikelkonzentration fest.

Cubic, ein Hersteller von Gassensoren und Gasanalysatoren, hat die Bedeutung der Reinraumüberwachung erkannt und eine breite Palette von Gassensorprodukten entwickelt, die auf seinen ausgereiften optischen Kerntechnologien basieren, um zuverlässige Gassensorlösungen für die Überwachung der Luftqualität, die Prozessüberwachung und die Sicherheitsüberwachung in Reinräumen anzubieten.

Prozessüberwachungslösung für die Halbleiterherstellung

In der Halbleiterindustrie ist es zur Minimierung von Ertragsverlusten unerlässlich, dass Halbleiterfertigungsanlagen (Halbleiterfabriken) strenge Strategien zur Verschmutzungskontrolle in den Reinräumen anwenden. Normalerweise ist Feinstaub eine der Hauptquellen für Mikroverunreinigungen in Halbleiterfertigungsprozessen, die kontinuierlich überwacht werden müssen.

Um Halbleiterfabriken bei der kontinuierlichen Überwachung von Feinstaub zu unterstützen, hat Cubic mit den Serien OPC-6303 und OPC-6510 zuverlässige optische Partikelzähler auf Basis der Lichtstreuungstechnologie entwickelt, die eine genaue Erkennung von Partikeln verschiedener Größen in einem Luftvolumen ermöglichen. Mit einem eingebauten einzigartigen Laser-Partikelzähler-Sensormodul, einem Lüfter mit konstanter Drehzahl und einem gut konzipierten Ultraschall-Durchflusssensor können die OPC-6510-Serie und die OPC-6303-Serie eine stabile und hohe Durchflussrate von 28,3 l/min Gasprobenahme bereitstellen, wodurch sie die Anforderungen der ISO 21501-4 erfüllen. Der optische Online-Partikelzähler von Cubic kann gleichzeitig die Partikelanzahl von 5 Kanälen mit 0,3μm, 0,5μm, 1,0μm, 5,0μm, 10μm in Stück/28,3L oder Stück/m³ ausgeben und unterstützt den 24/7-Betrieb, um eine stabile und kontinuierliche Partikelüberwachung zu gewährleisten. Darüber hinaus können die optischen Online-Partikelzähler der Cubic-Serie die Online-Übertragung von Überwachungsdaten auf der Grundlage von RS485 ModBus- und MQTT-Kommunikation erreichen, die weiter in das Filtersystem integriert werden können, um die Partikelverschmutzung in der Reinraumumgebung innerhalb eines bestimmten niedrigen Konzentrationsbereichs zu halten.

Um eine rechtzeitige Sicherheitswarnung während der Herstellungsprozesse in der Halbleiterindustrie zu ermöglichen, hat Cubic außerdem einen auf der TDLAS-Technologie basierenden Spurensensor für Feuchtigkeit und Sauerstoff entwickelt, der den Spurengehalt in ultrahochreinen Gasen mit hoher Selektivität, hoher Genauigkeit und ausgezeichneter Zuverlässigkeit misst.

Kontaminationsüberwachung in der Lithium-Batterie-Fertigung

Bei der Herstellung von Lithium-Ionen-Batterien, insbesondere bei der Vorbereitung des Elektrodenmaterials und der Zellmontage, ist die Kontrolle der Verunreinigung durch Partikel in der Luft von entscheidender Bedeutung, um die Leistung und Zuverlässigkeit der Batterieprodukte zu gewährleisten.

Gesetzliche Normen wie ISO 14644 legen Kriterien für die Klassifizierung der Luftreinheit in kontrollierten Umgebungen fest. Im Zusammenhang mit der Herstellung von EV-Batterien ist das Erreichen einer ISO-Klasse 5 oder höher aufgrund der Anfälligkeit der Batteriekomponenten für Verunreinigungen häufig zwingend erforderlich.

Um die Überwachung und Kontrolle der Kontamination während des Batterieherstellungsprozesses zu unterstützen, hat Cubic die 2,83 LPM Partikelzähler der OPC-6303 Serie und die 28,3 LPM Partikelzähler der OPC-6510 Serie entwickelt, die auf seiner zentralen Lichtstreutechnologie basieren.

Die bemerkenswerten Eigenschaften der optischen Online-Partikelzähler von Cubic:

-Ausgabe der Partikelanzahl in 5 Kanälen/6 Kanälen (0.3μm, 0.5μm,1.0μm, 2.5μm, 5.0μm, 10μm)

-Eingebauter Hochleistungs-Industrielaser, genaue Identifizierung

-Eingebauter Ultraschall-Gasdurchflusssensor, konstante und stabile Durchflussmessung

-ModBus RS485 und MQTT Kommunikationsprotokolle verfügbar

-kontinuierliche 24/7-Online-Überwachung

Um die Sicherheit während des Herstellungsprozesses von Li-Batterien zu gewährleisten, müssen wirksame Maßnahmen ergriffen werden, um ein Auslaufen des Elektrolyts oder ein thermisches Durchgehen zu verhindern.

Cubic hat den NMP-Gaslecksucher Gasboard-2063 und den Elektrolytlecksucher AM4210 entwickelt. Das Gasboard-2063 zeichnet sich durch schnelles Ansprechen, hohe Empfindlichkeit, lange Lebensdauer, Nullpunktselbstkalibrierung und Wartungsfreiheit aus. Es erfüllt außerdem die Anforderungen der ExdⅡCT3-Zertifizierung für explosionssichere Anwendungen und entspricht den Anforderungen der NMP-Konzentrationslecküberwachung von Lithiumbatterie-Beschichtungsanlagen. Der von Cubic selbst entwickelte Handheld-Elektrolytleckdetektor AM4210 ist mit einem TFT-LCD ausgestattet, das nicht nur Leckagepunkte erkennen, sondern auch die Leckagekonzentration in der aktuellen Umgebung quantitativ analysieren und die aktuellen Konzentrationsdaten darstellen kann.

Lösung zur Umweltüberwachung in der pharmazeutischen Produktion

In pharmazeutischen Produktionsstätten ist die Kontrolle der Luftpartikel von entscheidender Bedeutung, um die Reinheit und Sicherheit der pharmazeutischen Produkte zu gewährleisten.

Die Cubic Partikelzähler der Serien OPC-6303 (2,83 l/min) und OPC-6510 (28,3 l/min) können zur Überwachung der Umweltbedingungen in Reinräumen, Produktions- und Lagerbereichen eingesetzt werden und erfüllen die gesetzlichen Anforderungen an die Überwachung und Kontrolle der Partikelkonzentration in der Luft. Durch die Überwachung von Partikelkonzentrationen und Größenverteilungen können Pharmahersteller wirksame Maßnahmen ergreifen, um das Risiko einer Produktkontamination zu minimieren und die Produktqualität während des gesamten pharmazeutischen Herstellungsprozesses zu erhalten.

Um eine hohe Qualität der pharmazeutischen Produkte zu gewährleisten, hat Cubic außerdem einen auf der TDLAS-Technologie basierenden Feuchtigkeits- und Sauerstoffsensor entwickelt, der Sauerstoff- und Feuchtigkeitsspuren in ultrahochreinen Gasen misst, um eine Kontamination der pharmazeutischen Produkte zu verhindern.

Lösung zur Prozessüberwachung bei der Herstellung von Flachbildschirmen

Die Herstellung von Flachbildschirmen (FPD) umfasst die Produktion verschiedener Arten von Displays wie Flüssigkristallanzeigen (LCDs), organische Leuchtdioden (OLEDs) und andere, die einen präzisen und sauberen Herstellungsprozess erfordern, um hochwertige Produkte zu gewährleisten.

Reinräume für die FPD-Fertigung sollten so konzipiert sein, dass der Partikelgehalt minimiert wird und die gefilterte Luftzufuhr durch die Überwachung von Temperatur, Feuchtigkeit und Druck kontrolliert wird.

Zur Überwachung der Umweltprozesse hat Cubic die Serien OPC-6303 (2,83 l/min) und OPC-6510 (28,3 l/min) entwickelt, die auf der Lichtstreutechnologie von Cubic zur Überwachung der Partikelkonzentration basieren. Darüber hinaus werden der integrierte CO2-Sensor und der Controller AM6108B zur Überwachung von Temperatur und Luftfeuchtigkeit in FPD-Reinräumen eingesetzt.

Für weitere Informationen über Cubic Reinraum-Monitoring-Lösungen, besuchen Sie bitte：https://en.gassensor.com.cn/cleanroommonitoring/index.html