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Kubischer Laser-Partikelzähler für die Überwachung der Luftreinheit im Reinraum

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Wie kann man die Feinstaubbelastung im Reinraum abwehren?

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Laut Branchenanalysen von SEMI ist die Mikrokontamination ein Schlüsselfaktor, der die Stabilität der Umgebung in kontrollierten Fertigungsumgebungen beeinträchtigt. Aus diesem Grund ist die Überwachung der Luftreinheit in Reinräumen zu einem wesentlichen Bestandteil der Kontaminationskontrolle und der Qualitätssicherungsprogramme auf Anlagenebene geworden.

Feinstaub ist eine der Hauptquellen für Luftverunreinigungen in Reinraumumgebungen. Die kontinuierliche Überwachung der Partikel in der Luft hilft den Anlagenbetreibern, die Bedingungen für die Luftreinheit zu überprüfen und die Einhaltung der Reinraumstandards zu gewährleisten.

Zur Unterstützung der kontinuierlichen Überwachung von Reinraumumgebungen bietet Cubic den optischen Online-Partikelzähler OPC-6510DS an, der für die Echtzeitmessung der Partikelkonzentration in kontrollierten Umgebungen, wie z. B. in Elektronikfertigungsanlagen und anderen reinraumbasierten Anwendungen, entwickelt wurde.

Der Cubic OPC-6510DS wurde auf der Grundlage der Laserstreutechnologie entwickelt und ermöglicht die genaue Erkennung von Partikeln unterschiedlicher Größe in einem bestimmten Luftvolumen. Ausgestattet mit einem eingebauten Laser-Partikelzähler-Modul, einem Ventilator mit konstanter Drehzahl und einem Ultraschall-Durchflusssensor, liefert der OPC-6510DS einen stabilen Probenahme-Durchfluss von 28,3 l/min und erfüllt damit die Anforderungen der Reinraumklassifizierung nach ISO 14644-1.

Das Gerät unterstützt die gleichzeitige Ausgabe über fünf Partikelgrößenkanäle (>0,3 μm, >0,5 μm, >1,0 μm, >5,0 μm, >10 μm), die in Stück/28,3 L oder Stück/m³ angegeben werden, und ist für den Dauerbetrieb rund um die Uhr ausgelegt, um eine stabile, langfristige Überwachung der Partikelkonzentration in der Luft zu gewährleisten.

Darüber hinaus ist der OPC-6510DS mit einem integrierten Touchscreen zur Echtzeit-Visualisierung von Überwachungsdaten und Reinraumklassifizierungsstufen ausgestattet. Akustische und visuelle Alarme werden zur Unterstützung von Umweltwarnungen vor Ort bereitgestellt.

Die Überwachungsdaten können über RS485 Modbus- und MQTT-Kommunikation übertragen werden, was die Integration in Anlagenüberwachungs- oder Gebäudemanagementsysteme ermöglicht und rechtzeitige Umweltkontrollmaßnahmen unterstützt, um die Partikelkonzentration in der Luft innerhalb der vordefinierten Reinheitsschwellenwerte zu halten.