200 Micron Vertikal Nanopositioniersystem von DSM

DSM Nanopositionier piezoelektrischen XSA - 0200C Stufe kennzeichnet BiegegeführteBewegung über einen 200 Mikron Stellweg für das Scannen , Mess- und Prüfprozesse . Die Bühne ist stabil und steif Kinematik fördert Parallelität in der Ausgangsbewegung mit minimalen Stampfen und Gieren sowie dynamisches Ansprechverhalten für hervorragende Positionsstabilität und Kontrolle.

• Open-Loop- Reise: 200 Mikron ± 10%

• Steifigkeit : 0,8 N / micron ± 10%

• Linearität: 0,12% typisch

• Pitch / Yaw : <20 Mikro Radiant typisch

• Entladene Resonant Freq: 420 Hz ± 10%

• Blockierkraft : 160 N ± 10%

• Push / Pull- Kraftkapazität : 40 N Max

• Elektrische Kapazität : 3,6 micro Farad ± 10%

• Betriebstemperaturbereich : -20 bis 80 Grad Celsius

• Betriebsspannung : -30 bis 150 V

• Abmessungen: 60 x 60 x 12,5 mm

• Gewicht: 0,31 kg ± 10%

• Material : Edelstahl

• Kabellänge : Flying Leads ( Verfügbare Optionen )