Die Vorteile der Feldemissions-SEMs SU8600 und SU8700 von Hitachi erkunden

Erfahren Sie mehr über die neuesten Feldemissions-SEMs von Hitachi und die vielen Vorteile, die sie Fachleuten aus Wissenschaft und Technik bieten, mit dem Anwendungsspezialisten Roland.

In den letzten Jahrzehnten hat sich das Feldemissions-REM (FE-SEM) zu einem Dreh- und Angelpunkt der analytischen Wissenschaft entwickelt. Es bietet Fachleuten in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Bereichen zahlreiche Vorteile gegenüber herkömmlichen REMs und ermöglicht ihnen, eine Vielzahl komplexer Prozesse und neuer Technologien zu verstehen. Heute sprechen wir mit Roland Schmidt, Senior Applications Specialist, über diese innovative Technologie und das Angebot an FE-SEM-Mikroskopen von Hitachi.

Was ist ein Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop?

Die gebräuchlichsten Arten von Elektronenquellen für ein Rasterelektronenmikroskop (REM) sind Wolfram- oder thermionische, Schottky- und Cold Field Emission (CFE) Quellen. Ein Field Emission SEM ist also ein SEM, das mit einer FE-Kanone ausgestattet ist. Heutzutage bieten diese Mikroskope die beste Leistung in Bezug auf Auflösung, Detektionsstrategie, analytische Fähigkeiten und Strahlstabilität.

Bietet Hitachi Kaltfeld-Emissions- und Schottky-Feldemissions-Rastermikroskope an?

Ja, das ist richtig! Und meines Wissens ist Hitachi das einzige Unternehmen auf dem Markt, das REMs sowohl mit Kaltfeld- als auch mit Schottky-Emittern anbietet.

Welche Vorteile können Kunden erwarten, wenn sie die SU8600-Mikroskope einsetzen?

Das SU8600 ist das neueste Kaltfeld-Emissions-SEM von Hitachi, das die modernsten Bildgebungsmodi mit drei In-Linse-Detektoren und EDX-Detektoren kombiniert, die eine laterale Auflösung von bis zu 10 nm erreichen können.

Alle Benutzer des SU8600 können von Hitachis umfassender Erfahrung in der Herstellung von FE-SEMs seit der Einführung des ersten CFE-SEM im Jahr 1972 profitieren. Im Jahr 2012 erhielt Hitachi die renommierte IEEE-Auszeichnung für kontinuierliche Innovationen in diesem Bereich mit über 9000 installierten Geräten.

Welche Vorteile können Wissenschaft und Industrie durch den Einsatz der S8600-Mikroskopserie erzielen?

In der Industrie und im akademischen Bereich sind die Wartungskosten und die Verfügbarkeit der Geräte ein wichtiges Anliegen. Aufgrund der (theoretisch) unbegrenzten Lebensdauer einer Kaltfeld-Emissionsquelle ist die Ausfallzeit aufgrund eines Spitzenwechsels bei einem SU8600 minimal. In der Tat haben viele CFE-SEM-Anwender ihren Strahler nach mehr als fünfzehn Jahren noch nicht ausgetauscht. Das zahlt sich auf lange Sicht wirklich aus.

Wir sehen auch, dass viele Kunden das SU8600 als 30kV-Transmissionselektronenmikroskop verwenden und damit die Vorteile eines SEM, insbesondere als Durchlichtdetektor, mit denen eines TEM kombinieren.

Wie schneidet die SU8600-Serie im Vergleich zu anderen Wettbewerbern ab?

In Bezug auf Vorteile wie die hervorragende Abbildungsleistung, die längste Lebensdauer der Spitze und die niedrigsten Emissionsströme ab 1 µA gibt es heute kein Konkurrenzmodell auf dem Markt.

Viele Anwendungen haben jedoch spezifische Anforderungen. Dazu könnten beispielsweise höhere Ströme, eine herausziehbare Kammertür oder ein Modus mit variablem Druck gehören, um einen größeren und möglicherweise unbekannten Probenbereich zu erfassen. Für einige Anwendungen ist ein Schottky-Emitter möglicherweise besser geeignet.

Ich freue mich, dass Hitachi mit der Markteinführung des SU8600 und des SU8700 nun zwei FE-SEMs mit denselben Betriebs-, Software- und Automatisierungsfunktionen, aber sehr unterschiedlichen Elektronenoptiken anbieten kann, die jeweils ihre eigenen Vorteile haben.

Was ist Ihr Lieblingsmerkmal als Elektronenmikroskopie-Experte und warum?

Wie bereits erwähnt, sind unsere FE-SEMs genauso einfach zu bedienen wie Transmissions-Elektronenmikroskope. Das gefällt mir, wahrscheinlich weil ich während meiner Promotion mit der Elektronenmikroskopie an einem anspruchsvolleren 300-kV-TEM begonnen habe. Die Kombination von REM und TEM eröffnet neue Einblicke in viele nanoskalige Produkte wie Pulver, Fasern, Kohlenstoff-Nanoröhren usw.

Welche Vorteile können die Kunden mit dem SU8700 erwarten?

In unserer FE-SEM-Produktlinie sind das SU8700 und das SU7000 unsere Alleskönner. Sie bieten die höchste Flexibilität in Bezug auf Bildgebung und Vakuummodi, die Kammern mit mehreren Anschlüssen für Zubehör und stabile Ströme bis zu 200nA erfordern.

Für welche Bereiche und Branchen ist die Mikroskopserie SU8700 geeignet?

Alle Branchen und Industriezweige, in denen ein Höchstmaß an Flexibilität erforderlich ist, um Probleme der Fehleranalyse und Prozesskontrolle in kurzer Zeit zu lösen. Zum Beispiel in der chemischen Industrie, wo die Produktzyklen eher kurz sind und sich die Materialien häufiger ändern, und in Branchen wie der Halbleiterindustrie.

Was raten Sie Unternehmen, die nicht wissen, für welche der beiden unterschiedlichen Technologien sie sich entscheiden sollen?

Setzen Sie sich mit uns in Verbindung, um ein Muster einzureichen. Auf der Grundlage Ihrer Anforderungen und Bedürfnisse können wir Ihnen empfehlen, welches unserer zahlreichen Mikroskope am besten geeignet ist.

Zum Schluss: Haben Sie einen "Tipp des Monats"?

Verwenden Sie für die Fixierung von Massenproben keine doppelseitigen Klebebänder, um hochauflösende Bilder mit mehr als 20.000-facher Vergrößerung zu erhalten.