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NEU: Gasdrucksteuerpult durch HORIBA STEC

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Reihe des Kühlsystems GR-300 der Rückseite der Oblate

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Überblick

Die Reihe GR-300 kann das Gas steuern, das benutzt wird, um die Rückseite der Oblaten abzukühlen, die in Position durch ein elektrostatisches Klemmesystem geregelt werden. Verwendbar für Kühlsysteme unter Verwendung des Heliums und der Gassteuerung des Oblateabdeckungsgases unter Verwendung des Argons.

Mit der Einführung der Mengenfluss-Sensor-Wahl ist es möglich, GasStrömungsgeschwindigkeit zu überwachen.