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Optische Waferprüfung für μLEDs mit LumiTop 4000
Effizientes, simultanes Testen von Tausenden von μLEDs auf einem Wafer mit 2D-Kamerasystem der LumiTop-Serie
Instrument Systems bietet für μLED-Wafertesting eine einzigartige kamerabasierte Messlösung an, die 2-dimensional, pixelgenau und innerhalb vorgegebener Taktzeiten optische Analysen erstellt. Die LumiTop 4000 besitzt eine 12 MP Auflösung und detektiert kleinste Defekte und Inhomogenitäten auf dem Wafer. Dank 100 mm Makro-Objektiv ermöglicht die Kamera eine schnelle parallele Inline-Analyse aller μLEDs auf einem Wafer in einer einzigen Teststation.
