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Kombination von Hub- und Drehtischen

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INTEGRIERTES HUB-DREH-SYSTEM

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Die Nachfrage nach hochpräzisen, kompakten LIFT-ROTARY-Tischen wird mit den IntelLIDrives-Technologien erfüllt, die den einzigartigen Anforderungen der Rastermikroskopie, der Wafer- und Leiterplatteninspektion, der automatisierten Montage und dem Scannen einer breiten Palette von Proben und Mustern in vielen Arten von Bildgebungsverfahren und Mikrobearbeitungsanwendungen gerecht werden.

Diese Tische können mit Schrittmotoren und bürstenlosen Servomotoren mit Encodern motorisiert werden

Kann mit einem XY-Tisch zu einem kompakten 4-Achsen-XYZR-Tisch kombiniert werden

INTEGRIERTES HUB-DREH-SYSTEM
Z-Hub-Verfahrweg 15, 25, 50 mm
ROTATION UNBEGRENZT
LINEARE AUFLÖSUNG 5 Mikrometer
ROTATIONSAUFLÖSUNG 5 arc-sec
BELASTUNG 10 kg