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Jewellok Technology stellt fortschrittliche Lösungen für die Zuführung hochreiner Chemikalien für die weltweite Halbleiterfertigung vor

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Jewellok Technology stellt fortschrittliche Lösungen für die Zuführung hochreiner Chemikalien für die weltweite Halbleiterfertigung vor

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SHENZHEN, CHINA – Jewellok Technology Co., Ltd., ein führender Innovator im Bereich hochpräziser Flüssigkeits- und Gasregelsysteme, gab heute die Erweiterung seines Portfolios an Infrastrukturlösungen für ultrahochreine (UHP) Anwendungen um die neueste Generation seiner Chemikalienzufuhrsysteme (CDS) und Chemikalienzufuhrmodule (CDM) bekannt. Diese Systeme wurden entwickelt, um den strengen Anforderungen der Halbleiter-, Photovoltaik- und Flachbildschirmindustrie gerecht zu werden, in denen die Kontaminationskontrolle entscheidend für die Produktionsausbeute ist.

Jewellok-Chemikalienzufuhrmodul (CDM) und Chemikalienzufuhrsystem (CDS)
Jewellok-Chemikalienzufuhrmodul (CDM) und Chemikalienzufuhrsystem (CDS)
Da die weltweite Chipherstellung zunehmend auf kleinere Prozessknoten umstellt, ist die Anforderung an die chemische Reinheit zu einer absoluten Notwendigkeit geworden. Das integrierte Chemikalienzufuhrsystem (CDS) von Jewellok bietet eine umfassende, vollautomatische Lösung für die Lagerung, das Mischen und den Transport kritischer Chemikalien. Durch den Einsatz fortschrittlicher Werkstoffe wie Nickelbasislegierungen und Titan stellt das CDS sicher, dass aggressive Säuren, Basen und Lösungsmittel ohne metallische Verunreinigungen oder chemischen Abbau zugeführt werden.

„Die Halbleiterindustrie steht derzeit vor einer doppelten Herausforderung: dem Durchsatz zu steigern und gleichzeitig nahezu perfekte Reinheitsgrade aufrechtzuerhalten“, sagte James Yuan, Sprecher von Jewellok Technology. „Unsere neuesten CDS- und CDM-Lösungen wurden entwickelt, um diese Lücke zu schließen, und bieten eine unterbrechungsfreie 24-Stunden-Versorgung mit integrierter IoT-Überwachung und branchenführenden Sicherheitsprotokollen.“
Das Chemical Delivery Module (CDM) fungiert als Präzisionsmotor des Systems. Das CDM ist für die Installation am Einsatzort (Point of Use, POU) konzipiert und steuert die Endfiltration sowie die Dosierung der Chemikalien auf die Wafer. Das CDM von Jewellok verfügt über eine kontinuierliche, gefilterte Rezirkulation – unter Verwendung fortschrittlicher 2-nm-Filtrationstechnologie –, um sicherzustellen, dass ertragsgefährdende Partikel bereits Sekunden vor dem Kontakt der Chemikalien mit dem Substrat eliminiert werden.

Wichtige Innovationen der Jewellok-Infrastruktur:

Vollautomatisierung: Integrierte SCADA-Systeme ermöglichen eine Echtzeit-Datenprotokollierung und gewährleisten die lückenlose Rückverfolgbarkeit von Chemikalienchargen und Druckschwankungen.

Erhöhte Sicherheit: Die Systeme verfügen über mehrstufige Sicherheitsredundanzen, darunter berührungslose Füllstandsmessung, automatische Leckageerkennung und integrierte Brandbekämpfung für den Umgang mit Lösungsmitteln.

Präzisionskomponenten: Jedes Modul ist mit den von Jewellok entwickelten UHP-Membranventilen und Druckreglern ausgestattet, die auf eine hohe Zykluslebensdauer und minimalen Totraum ausgelegt sind.

Modulare Skalierbarkeit: Der modulare Aufbau des Systems ermöglicht es Fabrikbetreibern, die Kapazität zu erweitern oder neue Prozessrezepte mit minimalen Ausfallzeiten zu integrieren.

Über die Hardware hinaus sind die Systeme von Jewellok auf Nachhaltigkeit ausgelegt. Durch die Optimierung der Misch- und Dosiergenauigkeit mittels hochpräziser Durchflussregler reduziert das CDS den Chemikalienabfall und hilft Herstellern dabei, immer strengere Umweltvorschriften einzuhalten und ihre Gesamtbetriebskosten zu senken.

Die Markteinführung dieser Systeme stärkt die Position von Jewellok als wichtiger Partner in der globalen Elektronik-Lieferkette. Durch die Bereitstellung des „Kreislaufsystems“ moderner Fertigungsanlagen stellt Jewellok sicher, dass die weltweit fortschrittlichsten Technologien auf einer Grundlage von Reinheit und Zuverlässigkeit basieren.

Hersteller von Gasflaschen-Umschaltverteilern
Hersteller von Gasflaschen-Umschaltverteilern
Über Shenzhen Jewellok Technology Co., Ltd.
Jewellok Technology mit Hauptsitz in Shenzhen ist ein führender Hersteller von Anlagen zur Zuführung von ultrahochreinen Gasen und Chemikalien. Das Unternehmen ist auf UHP-Ventile, Regler und Verteiler spezialisiert und bietet umfassende Fluidlösungen für Hightech-Branchen weltweit. Jewellok hat sich technischer Exzellenz, Sicherheit und dem Fortschritt in der Halbleiterfertigungstechnologie verschrieben.

Medienkontakt:
James Yuan
Shenzhen Jewellok Technology Co., Ltd.
Gebäude A3, Nr. 440, Hedong Village, Hengkeng, Guancheng Community, Guanhu Street, Bezirk Longhua, Shenzhen, China
Telefon: +86-13380377051
E-Mail: [email protected]
Website: https://www.jewellok.com/product-category/gas-cabinet/