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Halbautomatischer VMB-Gasschrank mit Halbleiter-Ventilverteilerkasten, Membranventilen und Gasdruckreglern

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Halbautomatischer VMB-Gasschrank mit Halbleiter-Ventilverteilerkasten, Membranventilen und Gasdruckreglern

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Halbautomatischer VMB-Gasschrank mit Halbleiter-Ventilverteilerkasten, Membranventilen und Gasdruckreglern

In der Halbleiterfertigung ist der sichere Umgang mit gefährlichen Gasen und deren präzise Zuführung von entscheidender Bedeutung. Der halbautomatische VMB-Gasschrank ist ein Schlüsselelement, das speziell für diese Anforderungen entwickelt wurde. VMB steht für „Valve Manifold Box“ (Ventilverteilerkasten), und dieser Schrank kombiniert fortschrittliche Komponenten wie Membranventile und Gasdruckregler, um Sicherheit, Reinheit und Kontrolle bei der Gasverteilung zu gewährleisten.

Was ist ein Gasschrank?
Ein Gasschrank ist ein sicherer Behälter, in dem Gasflaschen gelagert werden, die in Halbleiterprozessen wie dem Ätzen oder der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) verwendet werden. Er schützt Mitarbeiter und Anlagen vor Leckagen oder Unfällen. Die halbautomatische Funktion bedeutet, dass einige Aufgaben, wie die Einstellung des Gasdurchflusses oder des Drucks, automatisiert sind, während andere, wie der Austausch von Gasflaschen, manuell durchgeführt werden müssen. Diese Kombination verbessert die Effizienz, ohne die Sicherheit zu beeinträchtigen.

Der Ventilverteilerkasten für die Halbleiterindustrie
Der Ventilverteilerkasten ist das Herzstück des Systems. Er wurde speziell für Halbleiteranwendungen entwickelt und beherbergt mehrere Ventile, um das Gas von den Flaschen dorthin zu leiten, wo es benötigt wird. Er ermöglicht es dem Bedienpersonal, zwischen verschiedenen Gasen umzuschalten oder Teile des Systems für Wartungsarbeiten abzuschalten, während der Gasdurchfluss präzise und frei von Verunreinigungen bleibt.

Die Rolle von Membranventilen
Membranventile zeichnen sich dadurch aus, dass sie einen flexiblen Membranbelag zur Steuerung des Gasdurchflusses nutzen. Sie sorgen für eine dichte Abdichtung, verhindern Leckagen und halten Verunreinigungen fern. Dies ist in der Halbleiterfertigung von entscheidender Bedeutung, da dort bereits winzige Partikel ein Produkt ruinieren können. Durch ihre Konstruktion vermeiden sie zudem die Entstehung von Ablagerungen und tragen so zur Aufrechterhaltung einer sauberen Umgebung bei.

Bedeutung von Gasdruckreglern
Gasdruckregler steuern den Druck des Gases, während es durch das System strömt. Verschiedene Prozesse erfordern spezifische Drücke, und die Regler gewährleisten eine gleichbleibende Druckversorgung. Diese Präzision trägt zur Herstellung zuverlässiger, hochwertiger Halbleiterbauelemente bei.

Warum dies wichtig ist
Zusammen machen diese Komponenten den halbautomatischen VMB-Gasschrank zu einem unverzichtbaren Werkzeug. Er liefert sicher reines Gas mit genau eingestelltem Druck und unterstützt so die Herstellung fortschrittlicher Technologien, auf die wir uns täglich verlassen.

Technische Daten

Modell JW-100-GC mit Gasdruckreglern im Halbleiter-Ventilverteilerkasten
Spezifikation Einflaschen-/Zweiflaschenausführung
Abmessungen des Spezialgasschranks Zweiflaschenausführung: B800 × T520 × H1957, Einflaschenausführung: B500 × T520 × H1957
Stromversorgung des Schaltschranks: Steuerstromversorgung: 220 V AC, 50 Hz, 500 W; Heizungsstromversorgung: 220 V AC, 50 Hz, 1–6 kW
Standardausstattung: Korrosionsbeständiger Rahmen, Sockel aus Edelstahl