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Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment erweitert die Produktionskapazitäten für hochreine Gasversorgungssysteme für Zentrallabore

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Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment erweitert die Produktionskapazitäten für hochreine Gassversorgungssysteme für Zentrallabore

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SHANGHAI, CHINA – Moderne Fertigungsanlagen und Hightech-Forschungszentren erfordern eine strenge Kontrolle der Chemikalienzufuhr, der Betriebssicherheit und der mikroskopischen Verunreinigungsprofile der Strukturen. Um diesen präzisen Anforderungen der modernen Fertigung gerecht zu werden, hat die Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. eine strategische Erweiterung ihrer Produktionskapazitäten am Standort Shanghai angekündigt. Diese industrielle Ausweitung zielt auf die Produktion ihres automatisierten zentralen Labor-Gasversorgungssystems und hochreiner Flüssigkeitsverteilungsleitungen ab und bietet damit eine sicherere, zuverlässigere und digital überwachte Alternative zu herkömmlichen dezentralen Gasversorgungssystemen.

Halbautomatische Umschaltverteiler aus Edelstahl für hochreine Gase
Halbautomatische Umschaltverteiler aus Edelstahl für hochreine Gase
Der Übergang von lokalen, einzelnen Gasflaschen, die direkt an den Laborarbeitsplätzen stehen, zu einem automatisierten, zentralisierten Versorgungssystem stellt einen entscheidenden evolutionären Wandel für industrielle Analyselabore und Testräume in der Mikroelektronik dar. Durch die Zusammenführung von Hochdruckgasflaschen, Dewar-Behältern für Flüssiggas und speziellen Lagertanks in dedizierten externen Lagerstätten oder speziellen Gasversorgungsanlagen isolieren moderne Einrichtungen potenzielle industrielle Gefahren wirksam. Die Konstruktionsprinzipien von Shanghai Chengwei isolieren giftige, brennbare und unter hohem Druck stehende Medien von den Reinraumbedienern, wodurch strukturelle Risiken gemindert und gleichzeitig die wertvolle Laborfläche maximiert werden.

Die Versorgungsinfrastruktur nutzt fortschrittliche Metallurgie und automatisierte Steuerungssysteme, die in den Reinräumen der Klasse 100 des Unternehmens gefertigt werden. Hochreine Kreislaufleitungen bestehen aus nahtlosen, elektropolierten Rohren aus Edelstahl ASTM A269 316L, wodurch interne Ausgasungen und das Ablösen von Mikropartikeln minimiert werden, die andernfalls empfindliche Instrumente wie GC-MS- und ICP-MS-Systeme stören könnten. Diese Verteilungsleitungen werden mittels automatisierter Orbital-WIG-Schweißverfahren unter konstanter Rückspülung mit hochreinem Argongas verbunden. Diese Methode verhindert eine Oxidation der Schweißnähte im Inneren und sorgt dafür, dass die Fluidleitungen extrem glatt bleiben, um Spurenverunreinigungen auszuschließen.

Die Betriebssicherheit wird durch eine integrierte digitale Infrastruktur gewährleistet. Zentralisierte Verteilerknoten sind mit automatischen Gasflaschen-Umschaltverteilern mit Differenzdruckregelung ausgestattet. Diese Systeme erfassen die Verbrauchsraten über mehrere Flaschenbänke hinweg in Echtzeit und schalten von einer leeren Flaschenreihe auf eine Reservebank um, ohne dass es zu Druckschwankungen in nachgeschalteten Bereichen oder zu Unterbrechungen des Arbeitsablaufs kommt. Für reaktive, brennbare oder pyrophore Prozessgase nutzt die Infrastruktur automatisierte Gasschränke mit kontinuierlicher Sicherheitsüberwachung, automatischen Notabsperrventilen und koaxialen Rohrleitungen mit doppelter Ummantelung.

Die letzte Ebene der baulichen Umsetzung umfasst Verteilerschränke an den einzelnen Analysestationen, die den Wissenschaftlern eine präzise lokale Steuerung der mehrstufigen Druckregelung, der Durchflussraten und der sekundären Absperrung ermöglichen. Nach der physischen Montage führen die Installationsteams strenge, mehrstufige Konformitätsprüfungen durch, darunter eine Leckageprüfung mittels Helium-Massenspektrometer bis hin zu den für ultrahochreine Vakuumbedingungen geltenden Grenzwerten, gepaart mit Hochdruck-Stickstoff-Haltetests zur Überprüfung der Integrität der Gleitringdichtungen.

Die Implementierung dieser fortschrittlichen Gasnetze optimiert den Platzbedarf der Versorgungsanlagen, reduziert die Verschwendung von Rohgas und garantiert stabile Betriebsbedingungen. Diese bauliche Entwicklung erfüllt strenge internationale Fertigungsrichtlinien, senkt die betrieblichen Wartungskosten und bietet eine kontinuierliche, hochsichere Grundlage für fortgeschrittene wissenschaftliche Forschung, Materialsynthese und die Skalierung von Halbleiterknoten.

Fluidsteuerungssysteme und Komponenten für die Halbleiterindustrie
Fluidsteuerungssysteme und Komponenten für die Halbleiterindustrie
Über Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd.:
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) ist ein spezialisiertes Ingenieur- und Fertigungsunternehmen, das sich auf Infrastrukturen zur Zuführung von ultrahochreinen Gasen, Chemikalien und Slurries für die Halbleiter- und die fortschrittliche Fertigungsindustrie konzentriert. Das Unternehmen mit Hauptsitz im Bezirk Songjiang in Shanghai betreibt eine 4.000 Quadratmeter große Anlage mit einer 2.500 Quadratmeter großen ultrareinen Produktionsfläche und einem 500 Quadratmeter großen Reinraum der Klasse 100. CWSC liefert weltweit hochpräzise Systeme, die die Substratbehandlung unterstützen, die Kontaminationsbelastung kontrollieren und die Verteilung von Chemikalien in Waferfertigungsanlagen regulieren.

Medienkontakt:
James Yuan
Unternehmen: Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd
Adresse: Nr. 9, Gasse 345, Minshen Road, Bezirk Songjiang, Shanghai, China
Telefon: +86-13380377051
E-Mail: [email protected]
Web: https://www.chengweisemi.com/