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Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment bringt integrierte Gassystemarchitekturen der nächsten Generation auf den Markt

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Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment bringt integrierte Gassystemarchitekturen der nächsten Generation auf den Markt

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SHANGHAI, CHINA – Moderne Fertigungsanlagen für Mikroelektronik und Halbleiterwafer-Fabriken der nächsten Generation erfordern eine beispiellose Präzision, Sicherheit und Effizienz bei der Prozessgasverteilung. Um diesen strengen Anforderungen der modernen Fertigung gerecht zu werden, hat die Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) die offizielle Markteinführung ihrer integrierten Gassystem-Panels der nächsten Generation bekannt gegeben. Diese in den firmeneigenen Spezial-Reinräumen im Bezirk Songjiang in Shanghai hergestellten Systeme stehen im Mittelpunkt dieser industriellen Markteinführung. Im Mittelpunkt stehen automatisierte, oberflächenmontierte Gasverteilblöcke, die darauf ausgelegt sind, die Platzbedarfslayouts in den Vorbereichen der Fertigungsanlagen zu optimieren, Spurenverunreinigungen zu minimieren und die Sicherheitsstandards bei der Chemikalienverteilung in den Wafer-Bearbeitungszonen deutlich zu erhöhen.

Halbautomatische Umschaltverteiler aus hochreinem Edelstahl
Halbautomatische Umschaltverteiler aus hochreinem Edelstahl
Da die Architekturen der Halbleiterfertigung im Bereich fortschrittlicher Knoten auf Sub-Nanometer-Niveau schrumpfen, reagieren Prozesskreisläufe zunehmend empfindlich auf mikroskopische Verunreinigungen, Druckschwankungen und Verzögerungen beim Fluidtransport. Herkömmliche, komponentenintensive Gasverteilungsfelder, die auf umfangreiche Koaxialleitungen, Handschweißnähte und große einzelne Massendurchflussregler angewiesen sind, stoßen rasch an ihre mechanischen Grenzen. Der Übergang zu einem hochentwickelten integrierten Gassystem stellt einen entscheidenden Evolutionsschritt für Waferfabriken, Forschungseinrichtungen und Solar-Photovoltaikanlagen dar, die die Betriebszeit ihrer Anlagen maximieren und gleichzeitig den Platzbedarf im Reinraum reduzieren möchten.

Die strukturelle Architektur des fortschrittlichen integrierten Gassystems von Shanghai Chengwei nutzt eine spezielle modulare Oberflächenmontage-Konfiguration. Anstatt Ventile, Regler und Filter über einzelne Versorgungsleitungen zu verbinden, werden die Komponenten direkt auf hochreinen Metallbasisblöcken mit internen Fluidkanälen montiert. Dieses spezielle Design beseitigt interne Totzonen oder Toträume, in denen Spuren von Spezialgasen oder Umgebungsfeuchtigkeit eingeschlossen werden können. Durch die Beseitigung dieser Flüssigkeitstaschen gewährleistet die Infrastruktur eine schnelle Gasreinigung, beschleunigt die Reaktionszeiten während der Gasumschaltphasen und reduziert das gesamte Innenvolumen des Verteilersystems erheblich.

Die Grundstrukturen werden im 500 Quadratmeter großen Reinraum der Klasse 100 des Unternehmens gefertigt, um Umgebungsverunreinigungen zu vermeiden, und bestehen aus hochwertigem, elektropoliertem 316L-VIM/VAR-Edelstahl. Die inneren Flüssigkeitswege werden strengen chemischen Passivierungsbehandlungen unterzogen, um eine ultraglatte Innenoberfläche zu erzielen, die das Ablösen von Mikropartikeln verhindert und Korrosion durch aggressive, flüchtige Spezialgase wie Chlorwasserstoff, Chlor und Ammoniak bekämpft. Jede Blockbaugruppe verfügt über äußerst langlebige Metall-Metall-Membrandichtungen, wodurch die Helium-Leckraten auf die Schwellenwerte für ultrahochreines Vakuum gesenkt werden.

Die Betriebssicherheit und die Durchflussregelung werden durch integrierte digitale Steuerungssysteme gewährleistet. Jeder modulare Block ist direkt mit fortschrittlichen Massendurchflussreglern, Druckwandlern und automatisierten pneumatischen Absperrventilen verbunden. Diese digitalisierten Regelkreise kommunizieren über industrielle Hochgeschwindigkeits-Netzwerkprotokolle, sodass die zentrale speicherprogrammierbare Steuerung der Anlage die Gastemperatur, den Fluiddruck und die Durchflussraten in Echtzeit überwachen kann. Für reaktive, brennbare oder pyrophore Prozesschemikalien verfügt das integrierte Gassystem über automatische Notabsperrventile und Sensoren zur kontinuierlichen Leckageerkennung, die direkt an die lokalen Abgasbehandlungssysteme (Wet Scrubber) in den Subfabriken angeschlossen sind.

Durch die Zusammenfassung komplexer Mehrventilbaugruppen zu einem kompakten, standardisierten Raster erreicht das integrierte Gassystem im Vergleich zu herkömmlichen Gasverteilern eine Reduzierung des Platzbedarfs um bis zu sechzig Prozent. Diese massive Verringerung des Platzbedarfs ermöglicht es den Anlageningenieuren, die gesamte Gasinfrastruktur näher am Verwendungsort zu montieren, wodurch Druckverluste in den nachgeschalteten Leitungen minimiert und die Konsistenz der Medienzufuhr gewährleistet werden. Darüber hinaus vereinfacht der modulare Aufbau die Wartung vor Ort, sodass Anlagentechniker einzelne oberflächenmontierte Module schnell abschrauben und austauschen können, ohne angrenzende Prozesslinien demontieren zu müssen oder längere Ausfallzeiten der Anlage zu verursachen.

Durch den Einsatz dieser fortschrittlichen integrierten Gassysteme können Halbleiterhersteller und Prozessingenieure maximale Fluidreinheit erreichen, den Abfall an chemischen Rohstoffen reduzieren und Prozessvariablen stabilisieren. Diese strategische technologische Entwicklung erfüllt strenge internationale Umweltvorschriften, minimiert die Gesamtbetriebskosten und bietet weltweit eine außerordentlich sichere Grundlage für fortschrittliche Knotenskalierung, Dünnschichtabscheidung und komplexe Plasmaätzprozesse.

Fluidsteuerungssysteme und -komponenten für die Halbleiterindustrie
Fluidsteuerungssysteme und -komponenten für die Halbleiterindustrie
Über Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd.:
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) ist ein spezialisiertes Ingenieur- und Fertigungsunternehmen, das sich auf Infrastrukturen zur Zuführung von ultrahochreinen Gasen, Chemikalien und Slurries für die Halbleiter- und fortschrittliche Fertigungsindustrie konzentriert. Das Unternehmen mit Hauptsitz im Bezirk Songjiang in Shanghai betreibt eine 4.000 Quadratmeter große Anlage mit einem 2.500 Quadratmeter großen ultrareinen Produktionsbereich und einem 500 Quadratmeter großen Reinraum der Klasse 100. CWSC liefert weltweit hochpräzise Systeme, die die Substratbehandlung unterstützen, die Kontaminationsbelastung kontrollieren und die Verteilung von Chemikalien in Waferfertigungsanlagen regulieren.

Kontakt:
James Yuan
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd.
Nr. 9, Gasse 345, Minshen Road, Bezirk Songjiang, Shanghai, China
Telefon: +86-13380377051
Web: https://www.chengweisemi.com/