Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment stellt integrierte Gassystemarchitekturen der nächsten Generation vor

SHANGHAI, CHINA – Moderne Mikroelektronik-Fertigungsanlagen und Halbleiter-Waferfabriken der nächsten Generation erfordern höchste Präzision, Sicherheit und Effizienz bei der Prozessgasverteilung. Um diesen anspruchsvollen Anforderungen der modernen Fertigung gerecht zu werden, hat Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) die offizielle Markteinführung seiner integrierten Gassystempaneele der nächsten Generation bekannt gegeben . Die in den Reinraumanlagen des Unternehmens im Shanghaier Stadtbezirk Songjiang gefertigten Paneele basieren auf automatisierten, oberflächenmontierten Gasversorgungsblöcken. Diese optimieren die Anordnung der Anlagenteile, minimieren Spurenverunreinigungen und erhöhen die Sicherheitsstandards für die Chemikalienverteilung in den Wafer-Bearbeitungszonen deutlich.

Hochreine halbautomatische Umschaltverteiler aus Edelstahl
Mit der Miniaturisierung der Halbleiterfertigungsarchitekturen auf Subnanometer-Ebene reagieren Prozesskreisläufe zunehmend empfindlich auf mikroskopische Verunreinigungen, Druckschwankungen und Verzögerungen beim Flüssigkeitstransport. Herkömmliche, komponentenlastige Gasverteilungssysteme, die auf umfangreichen Koaxialleitungen, manuellen Schweißnähten und großen Einzelmassenstromreglern basieren, stoßen schnell an ihre mechanischen Grenzen. Der Übergang zu einem hochentwickelten, integrierten Gassystem stellt einen entscheidenden Entwicklungsschritt für Waferfabriken, Forschungseinrichtungen und Solaranlagen dar, die die Anlagenverfügbarkeit maximieren und gleichzeitig den Platzbedarf in Reinräumen reduzieren möchten.

Die Struktur des fortschrittlichen integrierten Gassystems von Shanghai Chengwei basiert auf einer speziellen modularen Oberflächenmontage. Anstatt Ventile, Regler und Filter über separate Leitungen anzuschließen, werden die Komponenten direkt auf hochreinen Metallgrundblöcken mit internen Fluidkanälen montiert. Diese spezielle Konstruktion eliminiert interne Totzonen, in denen sich Spuren von Spezialgasen oder Luftfeuchtigkeit ansammeln könnten. Durch die Vermeidung dieser Flüssigkeitsansammlungen gewährleistet die Infrastruktur eine schnelle Gasspülung, beschleunigt die Reaktionszeiten beim Gaswechsel und reduziert das Gesamtvolumen des Versorgungskreislaufs erheblich.

Die Basisstrukturen werden im 500 Quadratmeter großen Reinraum der Klasse 100 des Unternehmens gefertigt, um Verunreinigungen aus der Umgebung auszuschließen. Sie bestehen aus hochwertigem, elektropoliertem Edelstahl 316L VIM/VAR. Die internen Fluidwege werden strengen chemischen Passivierungsverfahren unterzogen, um eine extrem glatte Innenoberfläche zu erzielen. Dies verhindert das Ablösen von Mikropartikeln und schützt vor Korrosion durch aggressive, flüchtige Spezialgase wie Chlorwasserstoff, Chlor und Ammoniak. Jede Blockbaugruppe verfügt über hochbeständige Metall-auf-Metall-Membrandichtungen, die die Helium-Leckrate auf die für Ultrahochvakuum erforderliche Grenze reduzieren.

Betriebssicherheit und Durchflussregelung werden durch integrierte digitale Steuerungssysteme gewährleistet. Jeder Modulblock ist direkt mit modernen Massendurchflussreglern, Druckmessumformern und automatisierten pneumatischen Absperrventilen verbunden. Diese digitalisierten Regelkreise kommunizieren über Hochgeschwindigkeits-Industrienetzwerkprotokolle und ermöglichen es der zentralen speicherprogrammierbaren Steuerung (SPS) der Fabrik, Gastemperatur, Fluiddruck und Durchflussraten in Echtzeit zu erfassen. Für reaktive, brennbare oder pyrophore Prozesschemikalien verfügt das integrierte Gassystem über automatisierte Notabschaltventile und Sensoren zur kontinuierlichen Leckageerkennung, die direkt mit den lokalen Nasswäscher-Abgasreinigungsanlagen der Produktionsanlagen verbunden sind.

Durch die Zusammenführung komplexer Mehrventilbaugruppen in einem kompakten, standardisierten Raster reduziert das integrierte Gassystem den Platzbedarf im Vergleich zu herkömmlichen Gasanlagen um bis zu 60 Prozent. Diese massive Platzersparnis ermöglicht es Anlagenmechanikern, die gesamte Gasinfrastruktur näher am Verbrauchsort zu montieren, wodurch Druckverluste in den nachgelagerten Leitungen minimiert und die gleichbleibende Gasversorgung sichergestellt wird. Darüber hinaus vereinfacht der modulare Aufbau die Wartung vor Ort, da Anlagentechniker einzelne Oberflächenmontagemodule schnell demontieren und austauschen können, ohne angrenzende Prozessleitungen zu demontieren oder längere Anlagenstillstände zu verursachen.

Die Implementierung dieser fortschrittlichen integrierten Gassysteme ermöglicht es Halbleiterherstellern und Verfahrenstechnikern, höchste Fluidreinheit zu erreichen, den Verbrauch von Rohchemikalien zu reduzieren und Prozessvariablen zu stabilisieren. Diese strategische Technologieentwicklung erfüllt strenge internationale Umweltauflagen, minimiert die Gesamtbetriebskosten und bietet eine außergewöhnlich sichere Grundlage für fortschrittliche Skalierungsprozesse, Dünnschichtabscheidung und komplexe Plasmaätzverfahren weltweit.

Halbleiter-Fluidkontrollsysteme und -Komponenten
Über Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd.:
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) ist ein spezialisiertes Engineering- und Fertigungsunternehmen, das sich auf Infrastruktur für die Zufuhr von hochreinen Gasen, Chemikalien und Suspensionen für die Halbleiter- und Hightech-Fertigungsindustrie konzentriert. Das Unternehmen mit Hauptsitz im Shanghaier Stadtbezirk Songjiang betreibt eine 4,000 Quadratmeter große Anlage mit einer 2,500 Quadratmeter großen Reinraumproduktionsfläche und einem 500 Quadratmeter großen Reinraum der Klasse 100. CWSC liefert hochpräzise Systeme, die die Substratbehandlung unterstützen, Kontaminationen minimieren und die Chemikalienverteilung in Waferfertigungsanlagen weltweit regulieren.

Kontakt:
James Yuan
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd
Nr. 9, Lane 345, Minshen Road, Songjiang District, Shanghai, China
Telefon: + 86-13380377051
Web: https://www.chengweisemi.com/