Positioniertisch DSP 50 mit 1 nm Wiederholgenauigkeit

Der DSP 50 wird mit 8 Piezoträgheitsmotoren angetrieben, die phasenverschoben angesteuert werden. Dadurch ist sowohl eine hohe Geschwindigkeitskonstanz selbst bei sehr kleinen Geschwindigkeiten als auch hohe Verstellkräfte (bis zu 15 N) sowohl im open als im closed loop Betrieb möglich. Die Außenabmessungen des DSP 50 betragen nur 50 x 50 x 16 mm.