Turbopumpe HiPace 2800 IT

Mit der HiPace 2800 IT präsentiert Pfeiffer Vacuum eine speziell für Anwendungen

zur Ionenimplantation geeignete Turbopumpe. Das ausgereifte Rotordesign der

Turbopumpe gewährleistet ein optimales Saugvermögen für leichte Gase. Dadurch

ist eine ausgezeichnete Anpassung bei Ionenimplantationsprozessen sichergestellt, bei denen hauptsächlich Wasserstoff anfällt. Mit einem Saugvermögen für Wasserstoff von 2.750 l/s ist die neue HiPace 2800 IT die führende Turbopumpe in ihrer Klasse.

Das intelligente Temperaturmanagement verhindert Kondensation und Ablagerung

im Pumpensystem und gestattet eine individuelle Temperatureinstellung zur

optimalen Prozessunterstützung. Die spezielle Hochleistungsbeschichtung des

Rotors bietet Stabilität gegenüber allen Stoffen, die in Ionenimplantationsprozessen auftreten. Dank der sogenannten Hybridlagerung, einer Kombination aus Keramik-Kugellagern auf der Vorvakuumseite mit permanentmagnetischen Radiallagern auf der Hochvakuumseite, verfügen die HiPace Turbopumpen über einen äußerstrobusten Lageraufbau. Dieser bildet zusammen mit der effizienten Beschichtung die

Grundlage, für die lange Lebensdauer der Pumpen und eine maximale Verfügbarkeit.