Für Stellwege bis 230 mm: Schneller Lineartisch mit Nanometerauflösung

Magnetische Direktantriebe bieten vor allem hinsichtlich Verschleiß und Dynamik Vorteile gegenüber klassisch motorisierten, spindelbasierten Lösungen. Da die Direktantriebe weitgehend auf mechanische Komponenten im Antriebsstrang verzichten, gibt es weniger Reibung und Spiel und damit mehr Präzision. Gleichzeitig sinken die Kosten und die Energieeffizienz steigt. Hinzu kommt, dass die Antriebe durch relativ große Stellwege, hohe Geschwindigkeiten sowie lange Lebensdauer überzeugen.

Mit dem PIMag® V-551 bietet Physik Instrumente (PI) jetzt einen neuen Lineartisch an. Dank seiner zwangsgeführten Kreuzrollenlager (Anti Creep) erreicht er Ablaufgenauigkeiten von 1 µm über 100 mm Stellweg. Beim Design des Tisches wurde darauf geachtet, dass keine Kabel mitbewegt werden müssen. Er eignet er sich daher besonders für Scanning-Anwendungen, die große Beschleunigungen aber auch hohe konstante Geschwindigkeiten verlangen. Einsatzmöglichkeiten gibt es in der Halbleiter- oder Flachbildschirmherstellung ebenso wie in der Medizintechnik, Messtechnik und Photonik oder ganz allgemein in Industrie und Forschung.

Der lediglich 160 mm breite Lineartisch ist modular aufgebaut. Damit ist es möglich, verschiedene Ausführungen auf Kundenanwendungen maßzuschneidern. So gibt es die Option, einen Motor mit 100 N oder 200 N Spitzenkraft einzusetzen und es stehen Stellwege von 50, 130 oder 230 mm zur Verfügung. An die jeweilige Anwendung lässt sich der Arbeitsbereich zusätzlich über verstellbare mechanische Anschläge anpassen. Die Positioniergenauigkeit kann durch eine Reihe verschiedener Messsysteme ebenfalls auf die jeweiligen Kundenanforderungen eingestellt werden.

Bei Betrieb mit dem passenden Motion-Controller C-891 des gleichen Herstellers erreicht der eisenlose magnetische Direktantrieb in der Standardausführung bereits eine Positionsauflösung von 1,7 nm und eine Wiederholgenauigkeit von <20 nm. Die erreichbare Höchstgeschwindigkeit liegt bei 500 mm/s. Ein absoluter Encoder ist im Standard integriert, daher ist beim Einschalten keine Referenzfahrt nötig. Optionale hochauflösende inkrementelle Encoder ermöglichen in Verbindung mit Motion-Controllern von PI eine rechnerische Auflösung von bis zu 0,03 nm.