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Wie misst man verkapselte MEMS im intakten Endzustand?
Neue IR-optische Messtechnik zur Analyse der Bauteildynamik Si-verkappter Mikrostrukturen
Eine umfassende Charakterisierung der Bauteildynamik sowie der mechanischen Eigenschaften von Mikrostrukturen ist sowohl für Design und Entwicklung, die Fehlersuche und die FEM-Validierung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) von entscheidender Bedeutung. Die MSA Micro System Analyzer Serie von Polytec bietet schnelle, genaue und berührungslose, optische Testlösungen für MEMS wie Intertialsensoren, MEMS-Mikrofone, Drucksensoren und mehr. Das MSA ist ein spezielles Laser-Doppler-Vibrometer mit integriertem stroboskopischen Videomikroskop, mit dem sowohl die Bewegungen innerhalb als auch senkrecht zur Bauteilebene von MEMS präzise erfasst werden. Der neue MSA-650 IRIS Micro System Analyzer ermöglicht nun sogar Messungen durch intakte Siliziumverkapselungen hindurch auf MEMS im betriebsfertigen Zustand.
Da Silizium im nahen Infrarotspektrum oberhalb einer Wellenlänge von 1050 nm transparent ist, eröffnet die zugrundeliegende Technologie der Infrarot-Interferometer-basierten Schwingungsmessung die Möglichkeit, gekapselte MEMS für authentische und möglichst repräsentative Analyseergebnisse heranzuziehen. Die brandneue, patentierte Interferometer-Technologie von Polytec liefert nun höchste Datenqualität durch eine klare Trennung der einzelnen Bauteilschichten in gekapselten MEMS. Dank zusätzlicher SWIR-Kamera und kurzkohärenter SLD-Quelle ist das MSA-650 IRIS das weltweit erste Messsystem mit dieser patentierten Technologie zur Visualisierung Si-gekapselter Bauteile. Es misst Schwingungen innerhalb der Ebene mit einer Auflösung von bis zu 30 nm und Schwingungen senkrecht der Ebene in Echtzeit bis zu einem Frequenzbereich von 25 MHz und mit einer Auflösung im Pikometerbereich und darunter.
Der MSA-650 IRIS Micro System Analyzer scannt Proben vollflächig selbst durch intakte Siliziumkappen und damit unter authentischen Betriebsbedingungen. Diese patentierte Interferometertechnologie bietet eine überragende Messdatenqualität durch die klare Trennung der einzelnen MEMS-Schichten. Ob automatisierte Inline-Tests auf Wafer-Ebene oder im Labor, kontaktieren Sie Polytec für eine detaillierten Austausch zu Ihrer Messaufgabe.
