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Halbleiterchips berührungslos messen: Die schnellsten Liniensensoren messen kleinste Strukturen
Hier kommen die neuen Liniensensoren von Precitec Optronic ins Spiel: Mit 192 gleichzeitig ausgelesenen Messpunkten sind sie genau 192 Mal so schnell wie konventionelle Sensoren, die mit nur einem Messpunkt arbeiten. Die aktuelle Generation von Liniensensoren arbeitet mit 192 Messpunkten, die je nach Messkopf auf einer Linie von1 mm bis annähernd 5 mm angeordnet sind.
3D-Daten in kürzester Zeit
Die vom Sensor gelieferten Rohdaten werden je nach Einsatz verwendeter Software zur Erkennung regelmäßiger Muster und Strukturen für 2D- und 3D-Bilder aufbereitet. Häufig benutzt man grafisch codierte Höhenansichten, um die Strukturen auf dem Wafer hinsichtlich Höhen, Abstände, Radien und Durchmesser zu untersuchen und Defekte zu erkennen. Die aktuellen Liniensensoren von Precitec können über eine Million Punkte je Sekunde erfassen. Diese Liniensensoren sind derzeit die schnellsten Systeme überhaupt, mit denen Halbleiter-Topografie in 3D-Technik erfasst werden kann.
