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JTEKT bietet hochproduktive Scheibenschleifmaschine

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Die neue DXSG320-Schleifmaschine verfügt über eine vollautomatische, maschineninterne Werkstückhandhabung.

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Die neue Doppelscheiben-Horizontalschleifmaschine von JTEKT kann beide Seiten von Silizium-Wafern gleichzeitig auf ±1 μm im geschnittenen Zustand schleifen. Nach Angaben des Unternehmens stellt die Leistung des DXSG320 eine massive Verbesserung der Genauigkeit und Produktivität gegenüber den heute in der Chipindustrie üblichen einspindligen Vertikalschleifmaschinen dar, die auf 3-4 μm schleifen.

Die neue DXSG320-Schleifmaschine hat eine um ca. 20 % kleinere Stellfläche als andere Maschinen und verfügt über ein vollautomatisches maschineninternes Werkstückhandling. Die Wafer werden in eine Vorrichtung eingelegt und in ein Regalsystem geladen, das die Wafer zur Größenbestimmung und Endbearbeitung nach Kundenwunsch in die Maschine befördert.

Um einen korrekten Materialabtrag und optimale Qualität zu gewährleisten, wird die Waferdicke vor und nach dem Schleifen gemessen. Während des Schleifens schwimmen die Scheiben in den Spannvorrichtungen und drehen sich während des Schleifvorgangs, was zu einem schnellen, gleichmäßigen Materialabtrag führt. Da das Teil während des Schleifvorgangs nicht umgedreht werden muss, spart der Anwender Zykluszeit. Einem Sprecher zufolge ermöglicht das Einzelscheibenschleifverfahren der Maschine eine einfache Automatisierung und Rückverfolgbarkeit.

Ein weiterer Vorteil dieser Maschine gegenüber dem vertikalen Spindeldesign ist der gleichmäßige Materialabtrag auf beiden Seiten der Scheibe in einem Arbeitsgang; im Vergleich zu vertikalen Maschinen, die jeweils nur eine Seite schleifen, wird auf beiden Seiten die gleiche Menge an Material abgetragen.

Zu den Hauptmerkmalen der Schleifmaschine gehören eine GW-Hochfrequenzspindel mit statischem Luftdruck und ein eingebauter Motor, um eine hohe Geschwindigkeit und hohe Genauigkeit beim Schleifen zu erreichen. Die Positionierung der Schleifscheibe erfolgt während des Prozesses automatisch durch eine hochpräzise Luftmessung. Die Maschine ist über eine benutzerfreundliche Kommunikationssoftware mit einer Vielzahl von Datenerfassungssystemen kompatibel.