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Z-Axis piezo Nanopositioners für extreme Präzisions-Anwendungen

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Aerotech QNP-Z piezo nanopositioning Stadien der Reihe verbinden Aerotech? s-wachsende piezo Stadiumsfamilie, die das lineare und QNP-XY Stadien QNP-L miteinschließt

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Die QNP-Z Reihe stellt die Entschließung, die Linearitäten, die Wiederholbarkeit und die hohe Dynamik, die für die forderndsten Anwendungen von Mikroskopie zu Optikausrichtung erfordert wird zur Verfügung. Mit Entschließung zu 0.15 Nanometer, ist Linearität bis 0.007% und Wiederholbarkeit zu 1 Nanometer, Nanometerniveau Präzision sicherlich.

Mit hoher Dynamik (Resonanzfrequenz und Steifheit) können Benutzer höheren Durchsatz in anspruchsvollen Prozessen erzielen. Eine Vielzahl der Spielräume (100? m bis 600? m), Rückgesprächwahlen und Vakuumversionen fügen der außergewöhnlichen vielseitigen Verwendbarkeit dieser Stadiums-Reihe hinzu.

Qualität in einem kompakten Paket

QNP-Z piezo Stadien werden durch Präzisionsbiegungen geführt, die unter Verwendung der Analyse des begrenzten Elements optimiert werden. Der resultierende Entwurf bietet hervorragende Steifheit und Resonanzdie frequenz (bis 1050 Hz) hohem Prozessdurchsatz ermöglichend an und fastet Regelantwort. Diese Stadien sind entworfen worden, um ausgezeichnete geometrische Leistung (Gradlinigkeit und eckige Störungen) zur Verfügung zu stellen bei gleichzeitig der Minderung der Gesamtstadiumspaketgröße.

Hochauflösend und Genauigkeit in Position bringend

Alles QNP des piezo wahlweise freigestellte Regelrückgespräch Stadiums-Angebots unter Verwendung eines einzigartigen kapazitiven Sensor-Entwurfs für Vor-nanometer Entschließung und hohe Linearitäten. Die kapazitiven Sensoren messen den Ausgang von Wagen direkt in Position bringen und ermöglichen überlegener Genauigkeit und Wiederholbarkeit.

Ultra-Präzision Steuerung

Wann verbunden mit Aerotech? s Q-Reihen Steuerpulte und Antriebe, QNP piezo Stadien zeigen das Vor-nanometer Entschließung- und Inpositionsstabilität (Bammel) in Position bringend, und Bandbreite hoch-in Position bringend. Softwarezusätze wie Aerotech? s-dynamische Kontrollen-Werkzeugkasten- und Bewegungs-Entwerferpakete liefern einen Wirt von vorangebracht, dennoch Schritt-und-vereinbaren bedienungsfreundliche Werkzeuge wie Lernen-Steuerung, harmonische Annullierung und Befehl, der, verbesserte Gleichlauffehler zur Verfügung stellend und schneller formt, Zeiten.

Entwurfs-Flexibilität

Aerotech? piezo Stadien s-QNP sind mit Kapazitanz-Sensor-Rückgespräch oder ohne das Rückgespräch vorhanden (offen Regelkreis-). Offen Regelkreis- stellt eine kosteneffektive Wahl für Anwendungen zur Verfügung, in denen kompakte Größe, Hochdynamik und das Vor-nanometer Entschließung in Position bringend angefordert werden, aber absolute in Position bringengenauigkeit und Wiederholbarkeit nicht angefordert werden. Offene Regelkreis- Entwürfe können auch verwendet werden, wo die piezo Position über eine externe Rückgesprächquelle kontrolliert ist (Interferometer, Anblicksystem, Fotodetektor, etc.).