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MEMS Trägheitssensoren führen eine strukturelle Überwachung durch

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Die neueste Generation der hochpräzisen kapazitiven Silizium-Inertialsensoren von First Sensor zielt auf Anwendungen im Bereich der intelligenten Strukturüberwachung. Die Sensoren bieten die Auflösung und geringe Geräuschdichte, die zur Erfassung von Vibrationen oder Neigungsänderungen in Windkraftanlagen, Brücken und Hochhäusern erforderlich sind, und decken so Risiken in der Struktur oder im Material frühzeitig auf.

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Die Sensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration bestehen aus einem Silizium-Sensorelement, das nach einem patentierten mikromechanischen Verfahren (HARMS, AIM) in Verbindung mit einem signalverarbeitenden ASIC in einem hermetisch dichten SMD-Gehäuse hergestellt wird. Je nach Bandbreite erreichen sie Auflösungen von 10 µg oder 0,0005° (2 Bogensekunden). Neben den Standardmodellen entwickelt First Sensor auch Module, die mechanisch und elektrisch für spezielle Kundenanwendungen angepasst sind. Zur Unterstützung von Projekten und Entwicklern stehen Evaluation-Kits zur Verfügung, mit denen die Sensoren evaluiert und konfiguriert werden können

Die patentierte Technologie des Unternehmens erzeugt monokristalline Silizium-Mikrostrukturen mit einem hohen Seitenverhältnis, um minimale Querempfindlichkeiten, hohe Signal-Rausch-Abstände und Temperaturstabilität zu gewährleisten. Darüber hinaus minimiert die patentierte luftspaltisolierte Mikrostrukturtechnologie parasitäre Kapazitäten, indem sie die Komponenten mit einem Luftspalt isoliert. Als Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30° erreichen die Sensoren eine Rauschdichte von weniger als 0,0004°/√Hz und Auflösungen von weniger als 0,0015° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Als Beschleunigungssensoren bieten die MEMS von First Sensor Messbereiche von ±3 g, ±8 g und ±15 g und erreichen eine Rauschdichte von weniger als 30 µg/√Hz und Auflösungen von weniger als 40 bis 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz