Hochmoderne Reinraumausstattung erfüllt höchste Ansprüche

Die neueste Generation der Reinraumsysteme CleanCell überzeugt mit modernster Technik. So erfordert beispielsweise die Herstellung und Montage von optomechanischen Komponenten für integrierte Halbleiter eine nahezu partikelfreie Umgebung und eine stabile Temperatur und Luftfeuchtigkeit. Da die hochempfindlichen Bauteile schon durch kleinste Verunreinigungen in ihrer Funktion beeinträchtigt werden, findet der Produktionsablauf ausnahmslos unter kontrollierten Reinraumbedingungen statt (siehe Bild).

Das Reinraumsystem ist mit Hochleistungsfiltern der ULPA-Klasse U15 ausgestattet. Gerichtete Luftströmungen entfernen kleinste Schwebeteilchen aus der Arbeitsumgebung. Eine innovative Umluft- und Rückluftführung innerhalb der Reinraumwände sorgt für eine präzise Reinraumspülung und hat eine hohe Energieeffizienz, da die bereits gefilterte und gekühlte Luft wieder in den Kreislauf des Luftaustauschs geführt wird. Wand- und Deckenmodule des Reinraums sind mit einem silikonfreien Dicht-Clip-System verbunden. Dies garantiert eine äußerst hohe Dichtheit der Reinräume, eine geringe Partikelabgabe und bietet den Vorteil von flexiblen Erweiterungs- oder Rückbaumöglichkeiten des modular aufgebauten Systems.