Unglaublich kleine Flüssigkeitssensoren

Durch das innovative Gehäuse können die Mikrochips des hochsensiblen Sensirion-Thermoflusssensors Messungen ohne Medienkontakt durch die Wand des im planaren mikrofluidischen Substrat verlaufenden Kanals vornehmen. Die Bauweise ermöglicht eine einzigartige Empfindlichkeit bei der Durchflussmessung und bei der Detektion von Luftblasen im Bereich von 0 bis 1000 Mikrolitern pro Minute. Die Sensoren sind besonders geeignet für die Überwachung von Durchflussraten und die Verbesserung der Systemleistung von Anwendungen in den Bereichen Biomedizin und Life Sciences.

Dabei werden nichtinvasive Flussmessungen dank der CMOSens®-Technologie möglich, die den Sensor hochempfindlich machen. Ein kleiner digitaler CMOSens®-Mikrochip (2,2 x 3,5 mm) ist mit dem mit mikrofluidischem Substrat gefüllten Kanal verbunden. Neben dem Sensorelement befindet sich darin das komplette „digitale Gehirn" und der für die Signallinearisierung, den Temperaturausgleich und den Selbstprüfalgorithmus notwendige Speicher. Der Chip verfügt über eine vollständig digitale I²C-Schnittstelle. Der elektrische Kontakt entsteht durch Metallisierung über dem mikrofluidischen Substrat. Die am Sensorboden befindlichen Flüssigkeitsanschlüsse ermöglichen die einfache Integration einzelner Sensoren in zahlreiche Anwendungen. Der Sensor überzeugt durch eine kurze Reaktionszeit von nur 30 ms sowie Sensorauflösungen von bis zu 0,5 nl/min. Der digitale Mikrosensor-Chip bietet eine vollständig kalibrierte digitale Ausgabe, wodurch keine zusätzliche Signalverarbeitung mehr notwendig ist.