{{{sourceTextContent.title}}}

Einzigartige NH₃-Spurenmessung in der Halbleiterindustrie

{{{sourceTextContent.subTitle}}}

Einzigartige NH₃-Spurenmessung in der Halbleiterindustrie

{{{sourceTextContent.description}}}

Bei Umweltüberwachungsmaßnahmen in einem europäischen Halbleiterwerk wurde Ammoniak an den Auslässen der Ammoniak-Abgasreinigungsanlage festgestellt, was potenzielle Gesundheits- und Umweltrisiken mit sich brachte. Der Ammoniak-Analysator „SERVOTOUGH Laser 3 Plus“, der üblicherweise für die DeNOx- und Emissionsüberwachung eingesetzt wird, wurde in dieser neuartigen Anwendung erfolgreich getestet und bewies dabei die für eine genaue Ammoniakmessung erforderliche Empfindlichkeit und Stabilität.