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#Produkttrends
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PVD-Vakuumverdampfung und Maschinen
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Thermische Verdampfung Metallisierung
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Was ist Vakuumverdampfung?
Die Vakuumverdampfung ist ein PVD-Prozess, bei dem das Material aus einer thermischen Verdampfungsquelle bis zur
substrat ohne Kollision mit Gasmolekülen im Raum zwischen Quelle und Substrat. Die Trajektorie
des verdampften Materials " Line-of - Visier." Die Vakuumumgebung bietet auch die Möglichkeit, die gasförmige Kontamination in der abgeschiedenen Schicht zu reduzieren.
Vorteile der Vakuumverdampfung
1. Hochreine Schichten können aus hochreinem Ausgangsmaterial abgeschieden werden.
2. Die Quelle des abzuscheidenden Materials kann ein Feststoff in jeder Form und Reinheit sein.
3. Die Sichtlinie und die " Quellen mit begrenztem Sichtfeld " ermöglichen die Verwendung von Masken zur Definition von Depositionsbereichen.
4. Die Überwachung und Steuerung der Deposition ist relativ einfach.
5. Wahrscheinlich ist es das am wenigsten umfangreiche der PVD-Prozesse.
Nachteile der Vakuumverdampfung
1. Viele Legierungszusammensetzungen und -verbindungen können nur schwer abgeschieden werden.
2. Sichtlinien- und begrenzte Flächenquellen führen zu einer schlechten Oberflächenabdeckung auf komplexen Oberflächen ohne richtige Substratfixierung und Bewegung.
3. Sichtlinienverläufe und Quellen mit begrenzter Fläche führen zu einer schlechten Schichtdickengleichmäßigkeit über große Flächen.
Die Filmeigenschaften hängen vom " Einfallswinkel " des Flussmittels des Abscheideguts ab.
4. Die Substratfixierung mit Bewegungsfähigkeit ist notwendig, um die Oberflächenabdeckung und die Gleichmäßigkeit der Dicke zu verbessern.
5. Für die Kontrolle der Filmeigenschaften stehen nur wenige Verarbeitungsvariablen zur Verfügung.
6. Die Nutzung des Ausgangsmaterials kann schlecht sein.
7. Im Depositionssystem können hohe Strahlungswärmebelastungen auftreten.
Anwendungen der Vakuumverdampfung
Die Vakuumverdampfung wird in Form von optischen Interferenzschichten, Spiegelschichten, dekorativen Beschichtungen, Permeationsbarriereschichten auf flexiblen Verpackungsmaterialien, elektrisch leitfähigen Folien und Korrosionsschutzschichten eingesetzt.
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