Magnetron-Sputtering-Abscheidungstechnologie

PVD-Sputterung Depositionierung

Was ist die Vakuum-Sputterung Deposition?

1. Sputtering Deposition ist die Abscheidung von Partikeln, die von einer Oberfläche, dem sogenannten "Sputtertarget", durch den physikalischen Sputterprozess verdampft werden.

2. Das physikalische Sputtern ist ein nicht-thermischer Verdampfungsprozess, bei dem Oberflächenatome physikalisch durch Impulsübertragung aus einem energetischen Bombenpartikel ausgestoßen werden, das normalerweise ein gasförmiges Ion ist, das aus einem Plasma beschleunigt wird.

3. Die Sputterabscheidung kann in einem Vakuum- oder Niederdruckgas (< 5 m Torr) durchgeführt werden, bei dem die gesputterten Partikel keine Gasphasenkollisionen im Raum zwischen dem Target und dem Substrat erleiden, oder in einem höheren Gasdruck (5- 30 m Torr), bei dem energiereiche Partikel, die gesputtert oder vom Sputtertarget reflektiert werden, durch Gasphasenkollisionen "thermisiert" werden, bevor sie die Substratoberfläche erreichen.

Vorteile der Sputterabscheidung

1. Elemente, Legierungen und Verbindungen können gesputtert und abgeschieden werden.

2. Das Sputtertarget bietet eine stabile, langlebige Verdampfungsquelle.

3. In einigen Konfigurationen bietet das Sputtertarget eine großflächige Verdampfungsquelle, die beliebig geformt sein kann.

4. In einigen Konfigurationen kann die Sputterquelle eine definierte Form aufweisen, wie beispielsweise eine Linie oder ein Segment eines Kegels.

5. In einigen Konfigurationen kann die reaktive Abscheidung leicht mit reaktiven Gasspezies durchgeführt werden, die in einem Plasma "aktiviert" werden ("reaktive Sputterabscheidungen")

Nachteile der Sputterabscheidung

1. Die Sputterraten sind im Vergleich zu denen, die bei der thermischen Verdampfung erreicht werden können, gering.

2. Die Folieneigenschaften hängen vom " Einfallswinkel " des Abscheidematerialflusses und bei niedrigen Drücken vom Beschuss durch Hochenergie-Neutralteilchen ab, die vom Sputtertarget reflektiert werden.

3. In vielen Konfigurationen ist die Verteilung des Abscheidungsflusses ungleichmäßig, so dass eine Fixierung erforderlich ist, um die Position der Substrate zu randomisieren und so Schichten mit gleichmäßiger Dicke und Eigenschaften zu erhalten.

4. Sputtertargets sind oft teuer und die Materialausnutzung kann schlecht sein.

5. In einigen Konfigurationen lassen sich gasförmige Verunreinigungen nicht ohne weiteres aus dem System entfernen, und gasförmige Verunreinigungen werden im Plasma "aktiviert", so dass die Filmkontamination ein größeres Problem darstellt als bei der Vakuumverdampfung.

6. In einigen Konfigurationen können Strahlung und Beschuss aus dem Plasma oder Sputtertarget das Substrat beeinträchtigen.

7. Die Sputterabscheidung wird häufig eingesetzt, um Dünnschichtmetallisierungen auf Halbleitermaterial, Beschichtungen auf Architekturglas, reflektierende Beschichtungen auf Compact Discs, Magnetschichten, Trockenfilmschmierstoffen und dekorativen Beschichtungen abzuscheiden.

Sputterverfahren

DC-Sputtering/MFSputtering

Balance Sputtering/Unbalaced Sputtering

Sputterbeschichtungssystem

Batch-Coater und Inline-Sputterbeschichtungssystem für Low-E-, ITO-Filmbeschichtungen auf Glas, PET-Folie etc.

Royal Technology bietet Batch-Sputteranlagen, Roll-to-Roll-Sputtermetallisierungsanlagen, Sputtern von Inline-Anlagen auf Glas usw. an. Bitte kontaktieren Sie uns mit Ihrer Anfrage.