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Kathodische Lichtbogenverdampfungstechnologie

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Multi-Lichtbogen-Ionenbeschichtungsanlagen

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Royal Technology bedient unsere Kunden mit den fortschrittlichsten kathodischen Lichtbogenbeschichtungstechnologien und -maschinen

Allgemeine Informationen

1. Die Ionenbeschichtung nutzt den gleichzeitigen oder periodischen Beschuss des Abscheidefilms mit energiereichen Partikeln, um die Zusammensetzung und die Eigenschaften des Abscheidefilms zu modifizieren und zu steuern.

2. Das Abscheidematerial kann entweder durch Verdampfung, Sputtern, Lichtbogenverdampfung oder eine andere Verdampfungsquelle verdampft werden.

3. Die energetischen Partikel, die für den Beschuss verwendet werden, sind in der Regel Ionen eines Inert- oder Reaktionsgases oder Ionen des abscheidenden Materials ("Filmionen").

4. Die Ionenbeschichtung kann in einer Plasmaumgebung durchgeführt werden, in der Ionen für Beschuss aus dem Plasma extrahiert werden

Vorteile der Ionenbeschichtung

1. Durch den Beschuss mit energiereichen Partikeln wird erhebliche Energie in die Oberfläche der Abscheidefolie eingebracht.

2. Die Oberflächenabdeckung kann über die Vakuumverdampfung und Sputterabscheidung durch Gasstreuung und " Sputtering Re-Deposition " Effekte verbessert werden.

3. Mit dem kontrollierten Beschuss können Filmeigenschaften wie Haftung, Dichte, Eigenspannungen, optische Eigenschaften verändert werden.

4. Die Folieneigenschaften sind weniger abhängig vom "Einfallswinkel" des Flussmittels des Abscheidegutes als bei der Sputterabscheidung und Vakuumverdampfung durch Gasstreuung, "Sputtern/Neuabscheidung" und "Atomstrahlen".

5. Bombardment kann verwendet werden, um die chemische Zusammensetzung des Filmmaterials durch " bombardierungsverstärkte chemische Reaktionen " und Sputtern von nicht reagierten Arten von der Wachstumsoberfläche zu verbessern.

6. In einigen Anwendungen kann das Plasma verwendet werden, um reaktive Spezies zu "aktivieren" und neue chemische Spezies zu erzeugen, die leichter absorbiert werden können, um den Prozess der reaktiven Abscheidung (reaktive Ionenbeschichtung) zu unterstützen

Nachteile der Ionenbeschichtung

1. Es gibt viele Verarbeitungsvariablen zu kontrollieren.

2. Es ist oft schwierig, einen gleichmäßigen Ionenbeschuss über die Substratoberfläche zu erhalten, was zu Schwankungen der Filmeigenschaften über die Oberfläche führt.

3. Die Erwärmung des Substrats kann zu stark sein.

4. Unter bestimmten Bedingungen kann das Bombengas in den wachsenden Film eingebracht werden.

5. Unter bestimmten Bedingungen kann es durch den Beschuss zu einer übermäßigen Druckfilmrestspannung kommen.

6. Die Ionenbeschichtung wird zur Abscheidung von harten Beschichtungen aus Verbundwerkstoffen, haftenden Metallbeschichtungen, optischen Beschichtungen mit hoher Dichte und konformen Beschichtungen auf komplexen Oberflächen eingesetzt.

7. Tropfen, die die Beschichtungsoberfläche beeinträchtigen können.

Anwendungen

Badezimmer- und Duscharmaturen

Es gelten die Vorschriften für Sanitärkeramik und Sanitärinstallationen

Türgriffe, Verschlüsse, Tresore und Schlösser

Glas- und Keramikprodukte

Brillen

Schreibgeräte

Um nur einige wenige zu nennen, aber für weitere Anwendungen kontaktieren Sie bitte Royal Technology.