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#Neues aus der Industrie
Elektrische Pumpen für den Halbleitersektor
SIMACOs Angebot an elektrischen Pumpen für den Halbleitersektor
Seit 1962 entwirft und produziert SIMACO Elektropumpen für verschiedene Bereiche. In den letzten fünf Jahren haben wir uns dem Halbleiterbereich genähert und dort Erfahrungen gesammelt, insbesondere im ETCHING & WAFERING Prozess.
Unsere Pumpen der Serie MD-CX mit Magnetantrieb wurden mit den meisten Flüssigkeiten, die in der Temperieranlage für die Halbleiterproduktion verwendet werden, positiv getestet. Der Arbeitstemperaturbereich reicht von -100°C bis +350°C und ist mit den folgenden Flüssigkeiten kompatibel:
- FLUORINERT FC3283 / FLUORINERT FC-770
- 3M: NOVEC7000 / NOVEC7100 / NOVEC7200 / NOVEC7300 / NOVEC7500 / NOVEC7600
- GALDEN PFPE / GALDEN HT
- DOWTHERM
- ASAHIKLIN AE3000 / ASAHIKLIN AC 2000
Je nach den Erfordernissen des Einsatzes können unsere MD-CX-Pumpen mit PMSM (Permanentmagnet-Synchronmotor) mit und ohne Lüfter geliefert werden, um die Bewegung von Staub zu vermeiden.
Darüber hinaus haben wir auch Erfahrung mit:
- UL-ZERTIFIZIERTEN MOTOREN
- SPEZIELLE SPEISUNGSSPANNUNGEN, die den Anforderungen der verschiedenen Märkte und der Endbestimmung der Halbleitermaschinen entsprechen.
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