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Elektrische Pumpen für den Halbleitersektor

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SIMACOs Angebot an elektrischen Pumpen für den Halbleitersektor

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Seit 1962 entwirft und produziert SIMACO Elektropumpen für verschiedene Bereiche. In den letzten fünf Jahren haben wir uns dem Halbleiterbereich genähert und dort Erfahrungen gesammelt, insbesondere im ETCHING & WAFERING Prozess.

Unsere Pumpen der Serie MD-CX mit Magnetantrieb wurden mit den meisten Flüssigkeiten, die in der Temperieranlage für die Halbleiterproduktion verwendet werden, positiv getestet. Der Arbeitstemperaturbereich reicht von -100°C bis +350°C und ist mit den folgenden Flüssigkeiten kompatibel:

- FLUORINERT FC3283 / FLUORINERT FC-770
- 3M: NOVEC7000 / NOVEC7100 / NOVEC7200 / NOVEC7300 / NOVEC7500 / NOVEC7600
- GALDEN PFPE / GALDEN HT
- DOWTHERM
- ASAHIKLIN AE3000 / ASAHIKLIN AC 2000

Je nach den Erfordernissen des Einsatzes können unsere MD-CX-Pumpen mit PMSM (Permanentmagnet-Synchronmotor) mit und ohne Lüfter geliefert werden, um die Bewegung von Staub zu vermeiden.

Darüber hinaus haben wir auch Erfahrung mit:
- UL-ZERTIFIZIERTEN MOTOREN
- SPEZIELLE SPEISUNGSSPANNUNGEN, die den Anforderungen der verschiedenen Märkte und der Endbestimmung der Halbleitermaschinen entsprechen.

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