Weg-Winkel-Differenzinterferometer erfasst mehrere Freiheitsgrade

Derzeit eingesetzte Messverfahren in der industriellen Fertigung stoßen an die Grenzen des technisch Machbaren.

SIOS-Experten entwickeln hochgenau Messtechnik, um z. B. die Positionierung oder Oberflächenmodifikationen mit Toleranzen im Nano- oder sogar Pikometerbereich exakt zu bestimmen.

Bei gleichen Anforderungen an die Messgenauigkeit macht es keinen wesentlichen Unterschied, ob eine Messung auf minimalen Raum über kleinste Distanzen an einem Wafer oder aber über eine Distanz von mehreren Metern an großen Objekten erfolgt. Zudem erhöht sich die Komplexität der Messaufgaben wie z. B. die Positionsregelung von x-y-Tischen, die Messungen von thermischen Materialausdehnungen, die Untersuchungen von Kriech- und Driftverhalten von Objekten, Brechzahlmessungen, hochgenaue Längen- und Winkelmessungen u. v. m.

Hochpräzise Messungen in Reinräumen und Vakuumkammern oder der Einsatz von hochgenauer Messtechnik im oft rauen industriellen Umfeld stellen spezielle Herausforderungen an die Messtechnik-Spezialisten von heute. Hier zählen beispielsweise Faktoren wie sich ändernde thermische und physikalische Umwelteinflüsse, Gewährleistung der stabilen Wiederholbarkeit von Mehrfachmessungen, aber auch Anforderungen aus der industriellen Massenfertigung, Effektivität, Investitionsvolumen und Wirtschaftlichkeit.

Die steigende Nachfrage nach passenden Lösungen forderte die Innovationskraft und das Know-how unserer Spezialisten heraus. Entstanden ist eine einzigartige Lösung: das Weg-Winkel-Differenzinterferometer.

Unseren Entwicklern ist es gelungen, die technischen Vorteile des Differenz-Laserinterferometers SP 5000 DI und des Dreistrahl-Interferometers SP 5000 TR in einem neuen Messgerät zu vereinen. Das Weg-Winkel-Differenzinterferometer SP 5000 DI-TR ist speziell für die oben beschriebenen steigenden Anforderungen der Fertigungsindustrie konzipiert. Mit dem Weg-Winkel-Differenzinterferometer gelingt es auch über größere Distanzen durch Kompensation der Umweltfaktoren langzeitstabile simultane Messungen von mehreren Freiheitsgraden gleichzeitig durchzuführen.