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SONOTEC® entwickelt und vertreibt weltweit neues Clamp-On-Durchflussmessgerät für hochreine Halbleiteranwendungen

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Da die Halbleiterindustrie durch eine Reihe von Flüssigkeitsströmungsprozessen gekennzeichnet ist, bei denen verschiedene abrasive, anhaftende, korrosive und ultrareine Flüssigkeiten verwendet werden, ist es von größter Bedeutung, die Prozesse sicher, stabil und von hoher Qualität zu halten

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SEMIFLOW-Durchflussmessgeräte sind speziell auf den branchenspezifischen Bedarf der Halbleiterindustrie ausgerichtet. Die Sensoren sind jetzt weltweit über das SONOTEC®-Vertriebsnetz erhältlich.

SEMIFLOW-Durchflusssensoren sind industrieerprobte, hochmoderne Messgeräte, die die Notwendigkeit eines robusten Designs mit einer innovativen Clamp-On-Konstruktion kombinieren, um das Risiko von Verunreinigungen und Leckagen ohne lästige Systemausfallzeiten zu eliminieren. Aufgrund ihres kompakten Gehäuses mit integrierter Elektronik und Auswerteeinheit sind die Durchflussmesser so klein wie ein einzelner Messwertaufnehmer und lassen sich daher leicht in bestehende Prozessketten und Architekturen integrieren. SEMIFLOW-Sensoren sind in verschiedenen Sensor- und Kanalgrößen für eine breite Palette von Rohrgrößen erhältlich. Sie eignen sich perfekt für PFA-, PTFE- und andere Hartkunststoffrohre und -leitungen

Praxiserprobte Technologie zur Verwendung in komplexen Halbleiteranwendungen

Die Flüssigkeitsdurchflussmessung spielt eine wichtige Rolle bei der Wafer-Herstellung, wo mehrere abrasive, anhaftende und korrosive Flüssigkeiten in verschiedenen Nassprozessen verwendet werden. Während eines einzelnen Wafer- oder Batch-Reinigungsprozesses ist es zum Beispiel entscheidend, den Durchfluss der Reinigungslösung zu überwachen. Im Falle einer Unter- oder Überdosierung muss der Reinigungsprozess wiederholt werden und es werden zusätzliche Ressourcen benötigt. Im schlimmsten Fall werden die Wafer defekt und es entsteht ein enormer Wertverlust. Eine präzise Durchflussmessung ist daher entscheidend für die effiziente Nutzung der Produktionsressourcen. Neben der Integration in Wafer-Reinigungsanlagen wurden SEMIFLOW-Durchflussmesser auch erfolgreich in Lithographie- und Mischanlagen, Chemikalienversorgungssystemen und Slurry-Linien eingesetzt.

SONOTEC® ist seit Jahrzehnten auf dem Gebiet der berührungslosen Ultraschall-Durchflussmessung tätig

Die Entwicklung der SEMIFLOW-Sensoren profitiert von jahrzehntelanger Erfahrung in der Konstruktion berührungsloser Ultraschall-Durchflusssensoren für hochempfindliche Anwendungen in der Biopharmazie sowie für medizinische Geräte mit strengen Sicherheitsvorschriften. So konnten bestimmte Leistungsmerkmale der Sensoren, wie z.B. hochgenaue Echtzeit-Durchflussmessungen von bis zu 400 l/min, die Implementierung eines Volumen-Totalisators, eine breite Palette von Standard-Industrieschnittstellen und das Know-how im Umgang mit einer Vielzahl von Schlaucheigenschaften und -geometrien erfolgreich in die SEMIFLOW-Sensorserie übernommen werden.

Von Ultraschall-Durchflussmessern SEMIFLOW verwendetes physikalisches Prinzip

SEMIFLOW-Sensoren sind mit vier Ultraschallwandlern ausgestattet, die in einem X-Muster angeordnet sind. Die Wandler senden pulsierende Ultraschallwellen in einer gegebenen Frequenz von einer Seite zur anderen aus und messen die Laufzeit der Ultraschallwelle mit und gegen die Strömungsrichtung der Flüssigkeit. Die resultierende Zeitdifferenz ist direkt proportional zur mittleren Strömungsgeschwindigkeit. Das Durchflussvolumen ergibt sich aus dem Produkt dieser mittleren Strömungsgeschwindigkeit und der Querschnittsfläche des Rohres.

Die Laufzeitmethode verursacht weder einen Druckabfall in der Röhre noch die Gefahr von Leckagen. Wenn sie entsprechend kalibriert ist, kann die Laufzeitmethode auf fast alle Flüssigkeiten mit Viskosität, Dichte, Farbe und elektromagnetischen Eigenschaften von Flüssigkeiten angewendet werden. Ionen und Partikel sind zur Berechnung der Messung nicht erforderlich.