Dosierpumpen entscheidend für die Erhaltung des Wachstums der chinesischen Halbleiterherstellung

China, einer der größten Hersteller von Elektronik und der größte Konsument von

Halbleiterprodukten, macht ca. 40 % des weltweiten Verbrauchs aus. Viele der

führenden internationalen Halbleiterunternehmen haben ihre Produktion nach

China verlegt und so aus dem Land ein wichtiges Bindeglied in der internationalen

Industriekette gemacht. Für 2014 wurde erwartet, dass die Umsätze in der IC‐Industrie (IC = integrierter Schaltkreis) um 18 % steigen und die Industrie einen Wert von über 250 Milliarden Yuan erreichen würde.

System zur Abwasseraufbereitung

Das im Halbleiterherstellungsprozess anfallende Abwasser muss sorgfältig aufbereitet werden, um Umweltschäden zu verhindern.

Es sind vorwiegend Verderflex®-Schlauchpumpen, die im Dosierprozess der

Abwasseraufbereitung eingesetzt werden. Die Abwässer können aufgrund ihrer Herkunft in drei Kategorien unterteilt werden: Abwasser, das im Herstellungsprozess anfällt,

Abwasser aus Herstellungsprozessen mit Reinstwasser, und Abwasser, das bei der Abgasreinigung anfällt. Wenn die Abwässer nach den verseuchenden Stoffen klassifiziert werden, können sie in mit Säure/Alkalien belastetes Abwasser, fluoridhaltiges Abwasser, cyanidhaltiges Abwasser, Schleifabwasser und schwermetallhaltiges Abwasser unterteilt werden.

Das am häufigsten eingesetzte Verfahren zur Abwasseraufbereitung ist die Fällung:

Bei der Fällung werden Chemikalien eingesetzt, die mit gelösten Ionen reagieren und dabei unlösliche Sedimente bilden. Bei der Aufbereitung von fluoridhaltigem Abwasser reagieren Calciumionen mit Fluoridionen und bilden ein Präzipitat, das dann abgetrennt wird.

Um die verbleibende Konzentration von Fluoridionen zu verringern und das erwartete

Ergebnis der Abwasseraufbereitung zu erreichen, kann die Calciumkonzentration erhöht werden. Für diese Anwendung und die Dosierung von Kalk, Calciumchlorid und ähnlichen Stoffen werden häufig Schlauchpumpen für die Industrie der Reihe Verderflex® VF eingesetzt.

Vorteile der peristaltischen VF-Schlauchpumpen

Die peristaltischen Verderflex-Pumpen sind aus folgenden Gründen die ideale Lösung für das Pumpen von Kalk:

• Die abrasive Eigenschaft von Kalk verursacht bei Exzenterschneckenpumpen

anhaltende Verschleißprobleme. Das führt zu laufend hohen Ersatzkosten für

den Stator und häufigen Wartungsausfällen;

• Kalk hat eine relativ hohe Viskosität, die für Membranpumpen normalerweise zu

hoch ist, wodurch diese verstopfen und ständig gewartet werden müssen;

• Verderflex-Pumpen haben eine lineare Flussgeschwindigkeit, die ideal ist für

Systeme mit selbsttätiger Regelung. So können die Chemikalien präzise dosiert

und ihr Einsatz minimiert werden;

• Der gleichmäßige Flüssigkeitsfluss durch Verderflex-Pumpen verhindert, dass

sich ein Produkt absetzen kann und die peristaltische Wirkung hält das Produkt

suspendiert, anstatt zuzulassen, dass sich das Produkt absetzt;

• Peristaltische Verderflex-Pumpen wurden für einen einfachen Einsatz, kürzere

Wartungsausfälle und geringe Betriebskosten entwickelt.