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Messung des Halbleiterwiderstandes mit der Vier-Sonden-Methode des Source Meters

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Schema

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Der spezifische Widerstand ist ein wichtiger Parameter, der die elektrischen Eigenschaften von Halbleitermaterialien bestimmt. Um die Prozessqualität und die Dotierung der Materialien zu charakterisieren, ist es notwendig, den spezifischen Widerstand der Materialien zu prüfen. Es gibt viele Methoden zur Prüfung des spezifischen Widerstands von Halbleitermaterialien. Die Vier-Sonden-Methode zeichnet sich durch eine einfache Ausrüstung, bequeme Bedienung, hohe Messgenauigkeit und keine strengen Anforderungen an die Form der Probe aus. Daher wird die Vier-Sonden-Methode derzeit häufiger zur Bestimmung des spezifischen Widerstands von Halbleitermaterialien verwendet, insbesondere bei Dünnschichtproben.

Prinzip der Vier-Sonden-Methode

Bei der Vier-Sonden-Methode werden vier gleichmäßig verteilte Sonden verwendet, um die Oberfläche des Materials zu berühren. Während zwischen den beiden äußeren Sonden ein Strom fließt, wird die Spannungsdifferenz zwischen den beiden mittleren Sonden gemessen. Der spezifische Widerstand wird aus den geometrischen Parametern der Probe, der Ausgangsstromquelle und dem gemessenen Spannungswert berechnet.

Kann das digitale Stromquellenmessgerät PRECISES den Widerstand mit der Vierleitermethode messen? Anforderungen an das Kabel?

① Ja, verwenden Sie den Vierleitermessmodus;

② Bei der Vierleitermessung wird im Allgemeinen ein konstanter Strom zur Messung der Spannung verwendet, und der angelegte Strom liegt im Allgemeinen im mA-Bereich, so dass im Grunde keine Anforderungen an das Kabel bestehen