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Anwendung eines Leistungsverstärkers bei der Leistungsprüfung eines dreidimensionalen Ultraschall-Vibrationstisches

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Name des Experiments：Leistungsprüfung des dreidimensionalen Ultraschall-Schwingungstisches Forschungsrichtung：Mikronanobearbeitung

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Name des Experiments: Leistungsprüfung eines dreidimensionalen Ultraschall-Vibrationstisches

Forschungsrichtung：Mikronanobearbeitung

Inhalt des Experiments：

Auf der Grundlage der traditionellen Sonde Nano-Gravur Verarbeitung, Verarbeitung eindimensionale / zweidimensionale Ultraschall-Schwingung kann effektiv die Effizienz der Verarbeitung zu verbessern, und reduzieren Sonde Verschleiß und Materialansammlung. Dieses Experiment zielt darauf ab, die Leistung des entworfenen dreidimensionalen Ultraschallschwingungstisches zu testen, um zu sehen, ob er die Bearbeitungsanforderungen erfüllt

Zweck des Experiments: Kalibrierung der Leistung des Vibrationstisches

Testausrüstung: 3D-Ultraschall-Vibrationstisch, Doppler-Laser-Vibrationsmessgerät, DAQ-Erfassungskarte, ATA-2082-Leistungsverstärker, piezoelektrische Keramiken

Experimenteller Prozess：

Der dreidimensionale Ultraschall-Schwingtisch hat drei Freiheitsgrade in xyz-Richtung, von denen jeder durch eine separate piezoelektrische Keramikplatte angetrieben wird. Er kann eine ein- oder zweidimensionale Schwingungsunterstützung bei der vibrationsunterstützten Bearbeitung bieten. Im experimentellen Prozess sendet der Signalgenerator das Steuersignal aus, und das Steuersignal wird durch den Leistungsverstärker ATA-2082 verstärkt, der die piezoelektrische Keramikplatte antreibt, um das Verschiebungssignal auszugeben, und das Signal wird durch den Doppler-Laser-Vibrationsmesser erfasst. Es wurden eindimensionale Schwingungen bei verschiedenen Frequenzen und Spannungen in drei Richtungen und zweidimensionale Schwingungen bei verschiedenen Phasenunterschieden zwischen XY und XY getestet.

Ergebnis des Experiments：

Wie in der nachstehenden Abbildung zu sehen ist, nimmt die Ausgangsverschiebung bei verschiedenen Ansteuerspannungen linear zu. Bei verschiedenen Ansteuerungsfrequenzen bleibt das anfängliche Auslenkungssignal unverändert, aber wenn sich die Ansteuerungsfrequenz allmählich der Eigenfrequenz des Schwingtisches nähert, beginnt das Auslenkungssignal zuzunehmen. Die zweidimensionale Schwingung ändert sich ebenfalls mit der Phasendifferenz und weist unterschiedliche Formen auf. Die Antriebsspannung ist während des gesamten Prozesses stabil, das Verschiebungssignal stimmt mit der Erwartung überein, die beiden Kanäle können gleichzeitig ausgeben, und wenn die Ultraschallfrequenz erreicht ist, kann die maximale Ausgangsspannung immer noch stabil ausgegeben werden.