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Aluminiumnitrid (AlN)-Substrate
Aluminiumnitrid-Substrate
Der AIN-Kristall ist eine kovalent gebundene Verbindung mit [AIN4]-Tetraeder als Struktureinheit, hat eine Wurtzitstruktur und gehört zum hexagonalen Kristallsystem.
ALN mit hervorragenden Isoliereigenschaften und extrem hoher Wärmeleitfähigkeit. Darüber hinaus hat Aluminiumnitrid die Eigenschaften, dass es von flüssigem Aluminium und anderen geschmolzenen Metallen und Galliumarsenid nicht angegriffen wird, und verfügt insbesondere über eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit gegenüber flüssigem geschmolzenem Aluminium.
Vorteile von Aluminiumnitrid-Substrat
Sehr hohe Wärmeleitfähigkeit
Nicht-toxische Alternative zu BeO
Geringe thermische Ausdehnung ähnlich wie bei Si-, GaN- und GaAs-Halbleitern
Hohe dielektrische Festigkeit