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#Produkttrends
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Wie funktioniert das poröse Keramikvakuum?
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Wie funktioniert das poröse Keramikvakuum?
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Keramik-Vakuumspannvorrichtung ist eine Art einheitlicher Festkörper oder Vakuumkörper, der unter Verwendung von Nanopulver hergestellt wird. Durch Hochtemperatursintern wird eine große Anzahl von verbundenen oder geschlossenen keramischen Materialien im Material erzeugt.
Das Material ist Al2O3 oder SIC, das in Halbleitern und elektronischen Geräten weit verbreitet ist.
Bei diesen Anwendungen kann es Halbleiterwafer, Glassubstratmaterialien und andere Arbeitsobjekte durch Vakuumsaugen fixieren.
Verglichen mit den Eigenschaften traditioneller Saugnäpfe für die Einzelspezifikation von Werkstücken trägt die regionale Saugfunktion von Keramik-Vakuumsaugern dazu bei, die Glätte der Produktionslinie und ihre Leistung zu verbessern und auch die traditionellen Saugnäpfe auf dem Werkstück (insbesondere dem Dünnschichtmaterial) Kratzer und Saugmarkierungen zu vermeiden.
Poröse Keramik-Vakuumarbeiten
Keramik-Vakuumspannvorrichtungen können nicht nur zur Adsorption von Werkstücken verwendet werden, sondern auch in Luftschwimmermodulen vom Transmissionstyp. Selbst große Stücke von Glassubstraten und anderen Werkstücken können während des Transports und Transfers nicht direkt mit der Plattform in Kontakt kommen und somit vermieden werden.
Es kommt zur Anhaftung von Verunreinigungen, Stress, statischer Elektrizität und Beschädigung des Glassubstrats. Darüber hinaus kann das poröse Material den Gasstrom stark reduzieren und den Effekt eines gleichmäßigen Luftdrucks in der Luftpolsterschicht erzielen und eine gewisse Schwebehöhe aufrechterhalten.