{{{sourceTextContent.title}}}

Aluminiumnitrid/Bornitrid-Verbundwerkstoff BN-AlN-Keramikteile für Ionenquelle

{{{sourceTextContent.subTitle}}}

Aluminiumnitrid/Bornitrid-Verbundwerkstoff BN-AlN-Keramikteile für Ionenquelle

{{{sourceTextContent.description}}}

BN-AlN-Keramik wird durch Sintern von Bornitrid- (BN) und Aluminiumnitrid- (AIN) Pulver hergestellt. Es hat eine ausgezeichnete elektrische Isolierung, Wärmeleitfähigkeit, hohe Festigkeit, Beständigkeit gegen Temperaturschocks und eine starke Beständigkeit gegen Halogengasplasma, was eine breite Palette von Anwendungen bietet, einschließlich Komponenten für Halbleiterproduktionsanlagen und Komponenten, die eine effektive Wärmeableitung erfordern.

Die Ionenquelle ist ein Gerät, das atomare und molekulare Ionen erzeugt, die sich in der Vakuumkammer befinden. Der Aluminiumnitrid/Bornitrid-Verbundwerkstoff ist ein hervorragender elektrischer Isolator, hat eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit, ist vakuumdicht und gibt kaum Gas ab. Daher spielt es in Ionenquellen die Rolle eines Kühlkörpers und einer Wärmeübertragungsplatte.