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Elektrische Isolierung Aluminiumoxid-Keramikteile für Implanter Halbleiterprozessausrüstung

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Elektrische Isolierung Aluminiumoxid-Keramikteile für Implanter Halbleiterprozessausrüstung

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Keramikteile aus Aluminiumoxid werden aufgrund ihrer hervorragenden elektrischen Isolationseigenschaften, ihrer hohen Wärmeleitfähigkeit und ihrer mechanischen Festigkeit häufig in der Halbleiterfertigung eingesetzt. In der Halbleiterfertigung sind Aluminiumoxid-Keramikteile besonders wichtig für Implanter-Ausrüstung.