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#Produkttrends
Vorteile der in Ionenimplantern verwendeten Keramiken
Vorteile der in Ionenimplantern verwendeten Keramiken
Als fortschrittliche Halbleiterfertigungsanlagen stellen Ionenimplanter sehr hohe Anforderungen an die Leistungsfähigkeit der Materialien.
Als wichtige Komponente spielt keramisches Zubehör in Ionenimplantern eine entscheidende Rolle.
A.Grundlegende Eigenschaften von Ionenimplantationszubehör und Keramikzubehör
Ionenimplanter-Zubehör besteht hauptsächlich aus hochreinem Siliziumnitrid, Siliziumkarbid (SiC), Aluminiumoxid, mikroporöser Aluminiumoxid/Siliziumkarbid-Keramik, Aluminiumnitrid (AIN), Saphir und anderen keramischen Materialien mit den folgenden Eigenschaften:
1. Hohe Härte und hohe Festigkeit: Keramische Beschläge haben eine hohe Härte und Festigkeit, die einer hohen Belastung und Abnutzung während der Ionenimplantation standhalten können.
2. Hohe thermische Stabilität: Keramikfittings haben einen hohen Schmelzpunkt und können in Umgebungen mit hohen Temperaturen eine stabile Leistung beibehalten.
