BN-Keramiken für PVD-ALD- und CVD-Systeme

BN-Keramiken für PVD-ALD- und CVD-Systeme

Wenn wir über Abscheidungsverfahren sprechen, müssen wir die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), die Atomlagenabscheidung (ALD) und die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) erwähnen, die für die Herstellung von Hochpräzisionsbauteilen für die Halbleiter-, Elektronik-, Luft- und Raumfahrtindustrie und vieles mehr grundlegend sind. Die Vielseitigkeit und die Eigenschaften von Bornitrid (BN)-Keramiken machen sie zu wichtigen Komponenten in PVD-, ALD- und CVD-Systemen. Hier möchte ich über die Rolle von BN-Keramiken in diesen Systemen sprechen.