Pyrolytisches Bornitrid (PBN) Tiegel für MBE-Kammer

Pyrolytisches Bornitrid (PBN) Tiegel für MBE-Kammer

INNOVACERA stellt eine breite Palette von PBN-Keramikkomponenten her, darunter Scheiben, Platten, Filamentringe, VGF-Tiegel, LEC-Tiegel, MBE-Tiegel, konische Tiegel und kundenspezifisch gefertigte Teile.

Pyrolytisches Bornitrid (PBN) ist ein hochreines Material, das durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) aus hexagonalem Bornitrid (hBN) gewonnen wird. Bei diesem Verfahren werden die Bornitridkristalle parallel zum Substrat ausgerichtet, was zu einer außergewöhnlichen Reinheit (99,99 %) und Haltbarkeit führt. Die CVD-Struktur von PBN begrenzt die Wandstärke auf 3 mm, bietet aber eine hohe mechanische Festigkeit und ist damit ideal für Hochvakuumumgebungen und Anwendungen mit geschmolzenem Metall.

Seine einzigartigen thermischen Eigenschaften wie die anisotrope Wärmeleitfähigkeit und die Beständigkeit gegen hohe Temperaturen machen PBN zum bevorzugten Material für Vakuumofenkomponenten und Kristallwachstumstiegel. Bei der Molekularstrahlepitaxie (MBE), einem Standardverfahren für die Herstellung von Galliumarsenid (GaAs)-Kristallen, zeichnen sich PBN-Tiegel durch ihre überlegene Leistung aus.